中古 STRASBAUGH 6DE-DC-1 #293807565 を販売中
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ID: 293807565
Polishers
DC Drive
Platten, 6"
(2) 1/2 HP Motors
Spindle load: 1720 lbs
Spindle torque: 150 lbs
Eccentric motion, 8"
Oscillating arm, 3"
Oscillating speed: 10 to 200 RPM
Digital timer for polishing cycles, 150 RPM
Power supply: 220 V, Single phase, 50/60 Hz.
STRASBAUGH 6DE-DC-1は、あらゆるタイプの半導体材料で高精度で優れた表面品質を実現するように設計された、高度で完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。STRASBAUGH 6DE-DC1システムは、極めて薄い(<100ミクロン)から厚さ1。5mmまでの厚いウェーハまで、あらゆる種類の材料に対応できる6インチの円形プラットフォームで設計されています。これは、研削アームの正確かつ再現可能な動きを保証する工業用グレードのステッピングモーターが含まれています。取り外し可能なラッピングプレートも本体に内蔵されており、超薄型ウエハの素早く簡単な研磨/ラッピングが可能です。6DE-DC-1は高性能のダイレクトドライブモーターで駆動され、優れた速度と信頼性の高い精度を実現しています。さらに、デジタル真空制御機能によりサンプルの接着を防ぎ、冷却ファンにより正確な温度制御を行い、一貫した結果を得ることができます。6DE-DC1には、カスタマイズ可能なさまざまな操作と制御パラメータも含まれており、独自の処理ニーズを可能にします。これには、研磨時間と圧力設定を制御するために調整できるオートストップ機能が含まれています。また、特許取得済みの表面計量校正ツールと高度なPLCツールを備えており、プロセスの正確なリアルタイムフィードバックとレポートを提供します。安全性の観点から、STRASBAUGH 6DE-DC-1には、潜在的な危険からオペレータを保護するためのシールド、危険が発生した場合の即時資産シャットダウン用のモーションセンサーなど、さまざまなセーフガードが装備されています。それはまた潜在的に危険な粒子を捕獲し、取除くエアフィルターを含んでいます。STRASBAUGH 6DE-DC1ウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルは、あらゆる種類の半導体材料を処理するための革新的で信頼性の高いツールです。堅牢な設計と高精度な機能により、厚さ1。5 mmまでのウェーハを高速かつ正確に処理でき、毎回優れた表面品質と反復可能な性能を保証します。統合された安全対策を備えた6DE-DC-1機器は、ウェーハ処理要件をマスターするのに最適なツールです。
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