中古 STRASBAUGH 6DE-4 #9025071 を販売中

STRASBAUGH 6DE-4は、生産スループットのために設計された強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。独自の構成により、ウェーハの再配置を必要とせずにワンステップで動作します。6DE-4は、すべてのウェーハ研削、ラッピング、研磨作業を単一のプラットフォームで実行でき、最高レベルのプロセス制御と再現性を提供します。STRASBAUGH 6DE-4は、回転ターンテーブルに取り付けられたデュアルドライブ、精密接地面を利用して、複数のウェーハの研削、ラッピング、研磨を同時に行うことができます。このシステムは、ウェーハの正確な位置決めと最高品質の研磨性能を可能にするオープンループのモーションコントロールを使用しています。6DE-4は、堅牢なオールメタルフレームと保護カバーからも利点を得て、操作中の正確さと保護を確保します。STRASBAUGH 6DE-4は、生産効率をさらに最適化するために、最先端のロボット技術を備えた自動研削、ラッピング、研磨方法を使用しています。高度なインプロセスセンシングシステムを使用する6DE-4で、ウエハの材料特性に基づいて動作パラメータを自動調整し、最適な研磨性能を確保することができます。さらに、STRASBAUGH 6DE-4はマルチヘッド負荷/アンロードシステムを内蔵しているため、ウェーハがユニットに供給されている間に動作することができます。6DE-4は、高度なプロセス監視および制御機能も提供します。このデバイスはクローズドループ動作をサポートし、最高のプロセス精度を保証します。さらに、幅広いソフトウェアおよびハードウェアベースの監視機能をサポートし、リアルタイムのデータ駆動プロセス制御を可能にします。安全で清潔な作業環境を確保するため、STRASBAUGH 6DE-4は、ウェハ研削、ラッピング、研磨プロセスによって生成されるすべてのほこりや破片を隣接するすべての井戸に保管しています。これにより、ウェーハ表面が汚染されないようにし、空気中の粒子のリスクを低減します。全体として、6DE-4は高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、今日の進化し続ける半導体産業の性能要件をはるかに上回っています。これは、各操作の安全性、精度、再現性、およびスループットの可能な限り最高レベルを提供します。