中古 STRASBAUGH 6DE-1 #9256748 を販売中

STRASBAUGH 6DE-1は、半導体ウェーハやその他の関連基板の精密材料除去および表面平滑性の向上を目的としたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高精度でプログラム可能な6軸モーションコントロールユニットを使用して、従来の機械式研削機よりも研削、ラッピング、研磨プロセスの優れたレベルの制御を提供します。6DE-1の中心は、滑らかで反復可能な角度の研削/ラッピング/研磨プロセスを提供する6つのCNCサーボ制御軸にあります。研削/ラッピングステージの主なコンポーネントは、目的の結果を達成するために研磨プロセスの動きを正確に制御するプログラム可能な高精度CNCサーボ制御ロボットアームです。ロボットアームはサポートアームに取り付けられ、水平および垂直の調整機能を提供し、研磨ヘッドはアクリル製のスタンドオフに取り付けられ、研磨作業中のより正確な位置を確保します。また、ダイヤモンド含浸プラテンを使用して、優れた研磨結果を提供します。このプラテンは4つのAC誘導モーターによって運転されます。プラテンはトラックツールに固定されており、プラテンは遅くて高度に制御された動きから高速な表面研磨まで可変速度で移動することができます。望ましい表面の終わりが達成されることを保障するためにはまたプラテンの速度および磨く圧力を変えることは可能です。STRASBAUGH 6DE-1は自動化されたクリーンルーム操作用に設計されており、汚染への基板の露出を最小限に抑えるのに役立ちます。このアセットには、クローズドループ濾過モデル、プロセス温度の制御と監視、プロセス異常の自動検出とシャットダウンなど、汚染から保護するための多数の機能が装備されています。6DE-1は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための精密で信頼性の高い反復可能な装置です。半導体ウェーハなどの高精度材料除去や表面平滑性の向上など、費用対効果の高いソリューションを提供するよう設計されています。プログラム可能な6軸モーションコントロールシステム、ダイヤモンド含浸プラテン、数多くの安全性と汚染機能を備えたSTRASBAUGH 6DE-1は、精密ウエハ加工用に特別に設計されたユニットです。