中古 STRASBAUGH 6DE-1 #135707 を販売中

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ID: 135707
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 1982
Overarm polishing machine, 12" Wafer polishing single table: (3)x2", (3)x3", 4", 5" Multiple small wax-blocked wafer R&D Polishing Stainless steel precision, 12" Lapped flat CMP platen (Pad process table) Mounted with adaptor hub 1982 vintage.
STRASBAUGH 6DE-1は、研削、ラッピング、研磨(GL&P)用途向けに設計された多機能プロセス装置です。このシステムは、生産および研究開発(R&D)ラボでの使用に適しており、4インチまたは100mmから6インチまたは150mmまでの幅広い基板を扱うことができます。6DE-1ユニットには、さまざまなGL&Pプロセス用の追加アクセサリの実装を可能にする交換可能なモジュラーベースとチャックが付属しています。このマシンはまた、リアルタイムのプロセス制御、継続的な監視、およびデータ収集のためにコンピュータと接続することができます。STRASBAUGH 6DE-1には、研磨用のDCブラシレストルクモーター、ウェーハの自動移動用のブラシレスリニアサーボ、ウェーハの位置調整を可能にする二軸方向モータ、ラッピングと研削用の強力なACモーターの4つの駆動モーターがあります。このツールには、空気チャック、調整可能なラッピングプラテン、および選択可能なダウンフォース制御も備えています。6DE-1には、さまざまな標準的なアクセサリーや、プロセスのバリエーションと柔軟性の向上を可能にするカスタムアクセサリーもあります。これらのアクセサリーには、ホルダー、パッド、プラテン、ウォータージェット、ツーリングコンポーネントが含まれます。この資産は、操作とメンテナンスが簡単です。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、低い運用電力コスト、および必要な最小限のクリーニングにより、運用コストが最小限に抑えられます。また、プラテン、空気チャック、ダウンフォース制御などの追加アクセサリーが含まれているため、経済的にも有利です。STRASBAUGH 6DE-1は、多様な機能と低コストの所有コストにより、多種多様な生産および研究開発用途に最適です。歩留まり、プロセスの再現性、コスト管理、環境コンプライアンスの改善に役立ちます。モジュラーモデルとカスタマイズ可能なプラットフォームにより、顧客のニーズを満たすことができます。この装置は速く、有効、研磨のためのDCのブラシレストルクモーター農産物の平らな、最も困難な材料のための滑らかな表面です。最終的に、強力なACモーターはラッピングおよび研削操作を最適化し、一貫した表面仕上げを保証します。6DE-1により、ユーザーは品質を犠牲にすることなく、スループットの向上を達成することができます。
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