中古 STRASBAUGH 6CA #9186227 を販売中
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ID: 9186227
Polishers
SSEC 176 Wafer scrubber
Acid neutralization system
(2) Vector one fume exhausts
Wet bench (Laminar flow over transfer stage)
(2) Packing stations:
Alcohol vapor dryer
Laminar hood over vapor dryer (Class 100)
Bright light inspection station
DI Water system, 18 MΩ (High capacity)
(2) Cleanroom: Class 100
Measurement equipment: 4-Point probe, N / P Typing, Thickness gauge.
STRASBAUGH 6CAは、汎用性が高く、正確で効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。金属、セラミックス、石英、溶融シリカ、ポリマーなど多種多様な基板の表面調整など、さまざまな用途に最適です。STRASBAUGH 6 CAは、50ナノメートルの薄さの研削、ラッピング、研磨に比類のない精度と再現性を提供します。最小限の床面積を必要とするコンパクトな設計と、人件費を大幅に削減するワンオペレーター機能を備えています。6C Aは、優れたウェーハ加工結果を得るために、Dualside™およびUnionside™加工技術を利用しています。Dualsideの技術は粉砕の決断を維持している間研削の速度を高め、粒子によって引き起こされる非均一性の低レベルを保障します。ユニオンサイド技術は、ウェーハエッジ上で非常に正確な平坦度測定を提供し、1ミクロン以内の半径を持つラウンドウェーハを製造±ことができます。6 CAはローカルウェーハ圧力（LWP）を独立制御しており、ユーザーは各ウェーハの圧力を正確に制御できます。STRASBAUGH 6 C Aは、研磨治具と組み合わせて、ウエハ研削、ラッピング、研磨制御の究極の機能を提供します。システムのデジタルパネルディスプレイとモーションコントローラソフトウェアは、6CAの操作のリモートアクセス、監視、および制御を可能にします。すべての変数をデジタルパネルに保存して表示することで、コントロールコンソールから移動することなく、パラメーターを素早く調整できます。STRASBAUGH 6CAは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズのための完全なソリューションです。その効率的かつ正確な処理能力と、拡張機能と堅牢なアプリケーション機能を兼ね備えたSTRASBAUGH 6 CAは、ハイレベルなウェーハ処理に最適です。
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