中古 STRASBAUGH 6BU #9045660 を販売中

ID: 9045660
ウェーハサイズ: 5"
Bench top polishers, 5" (1) spindle.
STRASBAUGH 6BUは、ウェーハの製造および半導体デバイスの製造に使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。6BUは軽量で高精度なシステムで、6インチウエハまで正確に研削、ラップ、研磨するように設計されています。ラッププレート、電動研削ホイール、エアベアリングスピンドルを内蔵しています。滑らかな表面、平らな表面、鋭い端、および高い均等性を含む堅い指定を、達成するように単位は設計されています。STRASBAUGH 6BUは、研削およびラッピング作業中にウェーハを保持するために使用される統合ラッププレートを備えています。このラッププレートは、高耐熱性および低摩擦材料から構成されており、研削および研磨作業中に優れた表面調整を提供するように設計されています。ラッププレートはまた、オペレータが研削およびラッピング操作の深さを正確に制御することを可能にする調節可能な深さ制御機を備えています。6BUには、ウェーハ表面の正確な研削を可能にする電動研削ホイールも含まれています。この研削砥石は、効率的かつ再現性の高いプロセスを提供する高出力モータによって駆動されます。研削砥石には工具不要の工具を装備し、切削深度を簡単かつ正確に調整できます。STRASBAUGH 6BUは、ウエハ研磨時に優れた精度と性能を提供するエアベアリングスピンドルも備えています。スピンドルは、自動化された手動操作モードを備えた高度にプログラム可能なソフトウェアによって制御されます。このソフトウェアは、移動速度、回転速度、スピンドル駆動電流などのパラメータを簡単に調整できるため、正確な制御が可能です。精度と精度を確保するために、6BUには耐久性のある2チャンネルのスピンドルスピードモニターや最先端のビジョンアセットなど、一連の周辺機器が装備されています。ビジョンモデルは、高解像度デジタルカメラを使用して、研削、ラッピング、研磨作業の進捗状況と品質を監視します。また、このビジョン装置を使用して、欠陥のあるウェーハを研削およびラップ操作から自動的に識別して移動させ、さらなる検査を行います。STRASBAUGH 6BUは、高精度でタイトな仕様を実現するように設計された軽量、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。統合されたラッププレート、電動研削ホイール、およびエアベアリングスピンドルは、優れた性能と再現性を提供します。このユニットには、2チャンネルのスピンドル速度と正確な監視のためのビジョンマシンを含む、一連の周辺機器が装備されています。6BUはウェーハの準備や半導体デバイスの製造に最適です。
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