中古 STRASBAUGH 6BL #9137743 を販売中

STRASBAUGH 6BLは、半導体製造プロセスで使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、回転研削/研磨テーブル、両端に取り付けられた2つの精密ラッピングヘッド、およびコンピュータ化されたロボットアームで構成されています。研削/研磨テーブルとラッピングヘッドは、光学、フラット、半導体ウェーハを正確に処理するために並行して機能します。ロータリーテーブルは、6インチの研削/研磨領域を備えており、加工中に最大2つの6インチ標準ウェーハを保持できます。これは、最大制御と柔軟性を可能にする可変速モーターによって駆動されます。2つのラッピングヘッドは、ウェーハを研磨し研磨する際に追加のレベルの制御を提供します。ヘッドはサーボ制御の振動と力を備えており、ユーザーは所望の表面仕上げを達成するためにラッピング圧力と動きの正確な量を適用することができます。さらに、ラッピングヘッドは従来のラッピング構成またはデルタディスク構成のいずれかで構成することができ、研削および研磨時の最適な調整を可能にします。ロボットアームは、最適な精度と再現性を実現する完全自動化されたロボットプロセスコントロールを備えています。この機能により、ユーザーは完全な精度でウェーハを研磨および研磨することができます。さらに、ロボットアームにより、ウェハを研磨/研磨ヘッドとラッピングヘッドに高速かつ効率的にマウントすることができます。6BLウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、多種多様な光学フラットおよび半導体ウェーハの精密研削、研磨に理想的なツールです。このマシンは、制御可能な速度、サーボ制御の力と最適な性能と再現性のためのロボットプロセス制御の組み合わせを提供しています。幅広い産業用途での使用に適した信頼性の高いツールです。