中古 STAHLI DLM 700-3 #9195339 を販売中
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ID: 9195339
ヴィンテージ: 2002
Lapping machine, 28"
Feed-in and feed-out table
Specifications:
Working range:
Wheel diameter maximum: 27.559" / 700 mm
Wheel ring width maximum: 7.874" / 200 mm
Work piece height maximum: 3.937" / 100 mm
Speeds:
Continuously variable:
Top wheel: 0 - 200 RPM
Bottom wheel: 0 - 200 RPM
Center drive: 0 - 100 RPM
Drive power:
Top / Bottom wheels: 12.7 HP / 9.5 kW
Center drive: 5.0 HP / 3.8 kW
Operating pressure adjustment: 0-1300 daN (Pneumatic)
Operating pressure:
Air connected minimum: 6 Bar
Digital measuring instrument:
Range: 0.3937" / 10 mm
Accuracy: 0.00003937" / 0.001 mm
Workplace-based noise emission value:
AP1-Idle operation: Approximately 75 dB (A)
Working noise: Approximately 78 dB (A)
Equipped with:
SIEMENS Simatic panel PC controller
Loading / Unloading tables
KOOLANT KOOLERS KV-1000 Chiller
Inspection straightedge, 20"
With (2) dial gauges
Dose not include:
Fine grinding plates
Coolant (Oil) system
Electrical equipment:
With DIN 57 113 / VDE
Cable-cross: 25 mm²
Control voltage: 230 V / 50+24
Connected load / Power requirement: 23 kW / 80 A
Power: 220 VAC, 60 Hz
2002 vintage.
STAHLI DLM 700-3は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、優れた結果と高精度加工を提供します。多彩なドライプロセスシステムにより、厚さ2mm〜18mm、直径150mm〜300mmの複数のウエハータイプの同時研削、ラッピング、研磨が可能です。それは3つまでの独立した、プログラム可能な粉砕および磨く紡錘から、統合され、単一のトルクモーターによって運転されるすべて成っています。DLM 700-3は、インプロセスセンシング、除去速度および表面仕上げのフィードバック制御、幅広いプロセスレシピなどの高度な自動化機能を含む、ラッピングおよび研磨プロセスパラメータを完全に制御する唯一のユニットです。ハイスループット生産のために、機械は並列処理のための追加のスピンドルのために容易に拡張可能です。STAHLI DLM 700-3は、ラッピングと研磨スピンドルを介して各ウェーハに自動的に供給されるため、優れた除去精度を提供します。統合されたビジョンおよびインプロセスメトロロジーシステムは、ラッピングおよび研磨結果を最適化するための重要なフィードバックを提供します。これらのシステムを使用することで、ツールが自動的かつ確実に動作し、優れた表面仕上げと優れた除去精度を実現します。さらに、この製品は標準的なプロセスカセットで設計されており、セットアップ時間が短縮され、生産性が向上します。SLM 700-3アセットは、最も要求の厳しい困難なアプリケーション向けに設計されており、高速かつ正確な大規模生産を可能にします。この多目的で完全に自動化されたモデルは、標準ラッピングプレートから高度な研削ホイールやダイヤモンド研磨材まで、さまざまな工程ツールを統合しています。さらに、この装置はスラリーディストリビューターを使用することができ、さまざまなプロセス流体を正確に制御することができます。また、ウエハーの処理中にクリーンで安全な環境を維持することができ、粉塵抽出ユニット、換気、音響モニタリングなどの安全機能が内蔵されています。全体的に、DLM 700-3は、複数のタイプのウェーハを正確かつ効率的に処理するための強力なマシンです。最高水準の精度と信頼性を超えるように設計されており、大量生産または研究開発アプリケーションの両方に最適化されたプラットフォームを提供します。STAHLI DLM 700-3は、大手ウェーハメーカーの多くの選択肢であり、要求の厳しいアプリケーション要件を満たす最も汎用性と柔軟性を提供します。
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