中古 STAEHLI FLM 1000 #9212914 を販売中

STAEHLI FLM 1000は、自動化された高精度ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、光学品質のガラス、光ファイバー、ガラス、金属、セラミックス、ウェーハなどの先端材料の生産に適しています。それは柔軟性、正確さ、速度およびスループットの組合せを提供します。FLM 1000は、最新の安全機能とスマートオートメーション機能を備えた二軸ロボットユニットです。要求の厳しいラッピングおよび研磨作業を精度と再現性で処理するように設計されています。このマシンは、2つの完全にプログラム可能な運動軸と21インチの移動範囲を備えており、最大2つのウェーハを同時に処理できます。このツールは、1本のスピンドルとともに、オプションのツインスピンドルも提供し、2本のウェーハを同時に処理することができます。STAEHLI FLM 1000は、ラフ研磨、微細研磨、エッジ研磨から、ミラー仕上げ、超微細仕上げ、クォーターカット仕上げ、さらにはサブ表面仕上げなど、さまざまな表面仕上げまで、幅広いラッピングおよび研磨プロセスを実行できます。このアセットは、ウェーハの歪みを最小限に抑えるための振動減衰モデルと、ファインモーションコントロールと専用のロボットウェーハハンドリングを備えており、機械的特性を達成するための正確な機械的および化学的調整を提供します。この機器には、データのフィードバックとセンサーを備えた自動プロセスを含む洗練されたコントローラ、および2つの軸の動きを正確に同期するためのユニークなモーションプロファイル機能が装備されています。また、高度な可視化とデータ取得オプションも提供しています。FLM 1000は、高トルク駆動のブラシレスモーターで駆動され、騒音と振動を最小限に抑えた優れた性能を発揮し、最大1回のフルシフトで駆動できます。このシステムは、Open Loop Unit Architectureを使用して運用コストを削減し、高レベルのプロセス精度を維持しながら、経済的な運用を実現するように設計されています。STAEHLI FLM 1000は、ハイエンドの生産用途に合わせて設計されており、優れた工具寿命とラッピングおよび研磨パラメータの正確な制御を提供します。さらに、このマシンは幅広いプロセスオプションと簡単なメンテナンスを備えています。