中古 STAEHLI 1500 #9212916 を販売中

STAEHLI 1500は、複雑なMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）製造プロセスで使用するために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高精度のリニアモータ駆動により、優れたモーションコントロールとプロセス安定性を実現しています。このユニットは、従来の研削システムよりも高い精度と高いスループットを提供するように設計されており、直感的なユーザーインターフェイスと直感的なタッチスクリーンにより、プロセスのプログラミングが容易になります。このマシンは、生産性と再現性を最大化するために、さまざまなプロセスヘッド構成と自動化されたプロセスコントロールで構成することができます。1500は、研磨ヘッドと研削ヘッドの両方を駆動するコンピュータ制御サーボ駆動のリニアドライブを採用しており、あらゆる方向への正確な移動を可能にします。このツールは、研削、研磨、ラップ操作の広い範囲のためにプログラムすることができます。これらの精密プロセスは、平坦領域と円筒領域の両方で幅広い速度で実現できます。このアセットは、速度、深さ、パス数、プランジレートなどの拡張プログラム可能な粉砕パラメータを提供します。モジュラー頭部の構成は直径の18から150mmまで及ぶ粉砕/磨くパッドを収容できます。STAEHLI 1500はまた、プロセス制御モデルに組み込むことができ、プロセスを監視し、精密プロファイル研削を支援する高精度の電子位置決め測定システムを提供しています。1500は、多種多様な生産環境およびさまざまなMEMSコンポーネントに配置できるオールインワン機器です。このシステムは、信頼性と高精度な動作により、最高の精度と最高の再現性を実現し、一貫した信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨結果を得ることができます。このユニットは、研究開発と生産関連のプロセス開発の両方にも適しています。直感的なユーザーインターフェイスとプロセスパラメータのプログラミングが簡単なSTAEHLI 1500は、あらゆるMEMSコンポーネント処理アプリケーションに最適です。