中古 SPM Y-09065A #9153429 を販売中

SPM Y-09065Aは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造および/またはパッケージングを含む研磨アプリケーションのためのソリューションを提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、ウェーハ表面の精密かつ効率的な研削、ラッピング、研磨を可能にする、静かで高性能なモーターの広い範囲を備えています。直径200mmまでのウェーハに対応可能で、自動インデックス機能により、個々のウェーハの連続研削、ラッピング、研磨が可能です。研削ホイール、研磨ベルト、研磨パッドの組み合わせを使用して研磨、ラップ、研磨をY-09065Aします。TSVや基板ボイドなどのアスペクト比の高いアプリケーションでは、毎分0〜126回転の速度で動作する2つの高トルクスピンドルを搭載し、0。12m RMSまでの微調整された表面仕上げを提供します。このユニットは、高度なモーションコントロールとビジョン技術を使用して、ウェーハの表面に対して研磨および研磨パックの正確な位置決めを保証します。キネマティックポリッシングヘッドブロックを使用することで、表面仕上げを実現しながら、安定性と正確な表面制御を実現します。エアベアリング技術により、SPM Y-09065Aは単一のモータを使用してすべてのプロセスを駆動すると同時に、優れた振動分離と低消費電力を提供します。その振動なし操作はそれが優秀な表面のプロフィール、平坦および超滑らかな終わりを達成することを可能にします。機械は摩擦および摩耗を減らし、潤滑関連の維持費を除去することによって紡錘モーターおよび工具細工の生命を高める流体静力学の潤滑用具を含んでいます。Y-09065Aは、競合するシステムのほんの一部のコストのための優れた再現性を備えた高品質の仕上げを生成することができます。その費用対効果の高い設計は付加的な付属品の必要性を除去し、高スループットおよび費用節約の適用のための理想的な選択をします。このアセットは、多種多様な研削、ラッピング、研磨材料と互換性があり、さまざまなアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。