中古 SPM Y-08480A #9181603 を販売中

SPM Y-08480A
ID: 9181603
ヴィンテージ: 2009
Wafer cleaner 2009 vintage.
SPM Y-08480Aウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、両側に平面化されたウェーハを製造するための理想的なソリューションです。大口径シリコンウエハの精密摩耗・研磨用に設計されています。精密研削とラッピングプロセスを組み合わせたY-08480Aは、高品質な結果を得ることができる柔軟なプラットフォームです。このシステムには、研削とラッピングの両方に対応する高精度の3軸CNCモーションコントロールユニットと、完全にプログラム可能な研削とラッピングプロセスが装備されています。制御装置は、プラットフォームが複雑な形状で優れた結果を達成するために柔軟な停止、開始、および繰り返しの位置を達成することができます。SPM Y-08480Aはまた、研削およびラッピング工程中にウェーハが過熱しないようにするための液冷ツールを備えています。Y-08480Aは、直径200mm、厚さ5mmまでのウエハを研削、ラッピングすることができます。このアセットは、ウェーハの両側を同時に平面化することができ、すべてのプリセット仕様を満たしています。さらに、研削、ラッピング、研磨プロセスの範囲を実行するように設計されています。それはダイヤモンドおよび樹脂研磨剤、また選択されたサマリウムコバルトまたはネオジム磁石を使用することができます。また、フルオートマチック保護システムを搭載しており、停電時でも中断しない動作を保証します。さらに、CNCモーションコントロールにより、機器をコンピュータ支援設計(CAD)システムに接続することができ、事前設定された研削およびラッピングプログラムを使用することができます。SPM Y-08480Aは、効率、精度、再現性の面で優れた結果を提供することができます。研削とラッピングプロセスの精度と、研削とラッピングプロセスの柔軟性を兼ね備えているため、両面に平面化されたウェーハを製造するのに理想的なソリューションです。
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