中古 SPM SPM 6 #9402207 を販売中

SPM SPM 6
ID: 9402207
ウェーハサイズ: 6"
Wafer cleaner, 6" Spare parts included.
SPM SPM 6は、SPM Inc。の最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、集積回路やその他の敏感な電子部品の高度なマイクロ処理のニーズを満たすように設計されています。基板から最終的に必要とされる厚さ、表面仕上げまで、研削、ラッピング、研磨ウエハなどの機能を発揮します。優れたG力生産を実現する高速スピンドルを搭載し、静的安定性と精度に優れたエアベアリングを採用しています。統合されたマテリアルハンドリングユニットにより、ウェーハの迅速かつ効率的な内部洗浄と選別が可能です。SPM 6には、速度、加速、減速の正確な制御を可能にする高効率のデジタル電気駆動モータも装備されています。また、ウエハの位置を変更することなく、スピンドルの向きを正確かつ再現可能に変更することができます。SPM SPM 6には、高解像度カメラ、照明、光学、サポートエレクトロニクスからなる最先端のビジョンマシンも装備されています。これにより、非常に精密な地形および微細構造イメージングが可能になり、現在利用可能な他のシステムよりも優れたレベルの制御と精度を示します。さらに、ウェーハの表面プロファイルを処理前後に解析し、目的の特性を達成するために必要な最適なパラメータを決定することができます。SPM 6には、ダイヤモンド研削ホイール、ラッピングツール、レーザー切削工具、研磨パッドなど、プロセスを正確かつ正確に制御するさまざまなツールが付属しています。また、偶発的なドロップから保護するためのいくつかの安全機能、作業パラメータの瞬時表示、プロセスパラメータをリアルタイムで追跡および表示する機能も備えています。全体として、SPM SPM 6は、集積回路やその他の敏感な電子部品の精密で高度なマイクロ処理を提供するように設計されています。最先端のビジョンツール、精密デジタルモータ、精密なツールとプロセスを備えたSPM 6は、高度なマイクロ処理に最適なソリューションです。
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