中古 SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCA #9386560 を販売中

SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCAは、高性能エレクトロニクスおよびMEMSアプリケーション向けの薄膜材料の精密仕上げ用に設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。それは自動化されたフルサイズの48 「x 48」働くプラットホーム、フルサイズの陶磁器のマンドレルおよび調節可能で、プログラム可能な速度制御を特色にします。SP-GYR-48PNLCCAには、精密なプロセス条件を維持するためのクローズドループコントローラが含まれており、アプリケーション固有の地形制御、調整可能なジャイロスピード、力、水位、SPITFIREスピンProcess™技術を提供し、優れた表面仕上げを実現します。単軸と多軸の両方の研削/ラップ操作が可能です。SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCAは、自動化されたコンピューター制御の研削/ラッピングヘッドを備えており、非常に反復可能な仕上げプロセスを提供します。マシンヘッドは、均一な仕上がりを確保するために正確な研削/ラッピング動作を提供する強力で高トルクモーターに接続されています。モータはまた、ほこりや破片からそれを保護するためにステンレス製のハウジングで覆われています。SP-GYR-48PNLCCAの高度なプロセス制御システムにより、薄膜研磨に最適です。これは、プロセス制御と最適化のための高度なソフトウェアを使用することによって可能になり、均一な表面仕上げを実現することが容易になります。また、ユーザーはプロセスパラメータを定義し、特定の要件を満たすために研削および研磨作業をカスタマイズすることができます。SPITFIRE SP-GYR-48PNLCCAは、ウェーハ薄膜研磨、MEMSデバイス製造、面取り、ミラー仕上げ、シリコンオンインシュレータウェーハプリッピングなど、幅広いウェーハ加工アプリケーションに適しています。薄膜材料を仕上げる際に、高精度・高精度を必要とするユーザーに最適です。システムは消耗品および付属品の範囲と供給され、セリウム迎合的です。