中古 SPITFIRE 360 #9236967 を販売中
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SPITFIRE 360は、半導体ウェーハに優れた平坦性と表面品質を提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ウェーハの自動ロードとアンロード機能、および最適化された研削、ラッピング、研磨操作を提供します。360に動きの3つの独立した軸があります:有効な粉砕およびラッピング操作のための回転の一定した速度を提供する回転軸;研削、ラッピング、研磨中のウェーハ位置制御用のX-Y軸。研削とラッピングの深さ制御の精密な微調整のためのZ軸。SPITFIRE 360の研削ヘッドは2つのセクションに分かれています。ウェーハ表面を目的の形状に研削する外形ホイール。そして厚さの精密な表面平坦度の正確さそして均等性を提供する内部ラッピングホイール。ラッピングホイールは、めっきされたダイヤモンドまたは他の研磨材を使用して、非常に細かく均一なラッピング性能を提供します。360は完全に自動化された動作モードを備えており、オペレータの介入を最小限に抑えて最大のスループットを実現します。高度なコントローラには、ユニットのトラブルシューティングとキャリブレーションのためのさまざまな入力と出力が装備されています。これにより、研削、ラッピング、研磨プロセスに高度な制御と柔軟性を提供します。さらに、SPITFIRE 360は、さまざまなウェーハサイズと直径のために設計されています。これにより、さまざまなプロセスのさまざまなウエハ形状とサイズを処理できます。360は非常に信頼でき、耐久機械で、持続するために造られます。産業用グレードのコンポーネントは、生産稼働の厳しさに対応するように設計されており、クローズドループツールは包括的なフォルト保護とリアルタイム診断を提供します。さらに、SPITFIRE 360は安全基準を満たすか、または超過するように設計されており、クリーンで安全な動作環境を提供します。全体として、360は、半導体ウェーハの優れた表面仕上げと平坦性を提供するように設計された高度で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。堅牢な機能、信頼性の高いコンポーネント、およびユーザーフレンドリーな安全機能により、SPITFIRE 360は、一貫した正確な結果を必要とする人にとって理想的なモデルです。
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