中古 SPEEDFAM SP 800 #9257666 を販売中
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ID: 9257666
Single-sided polishing machine
Surface plate diameter: φ813 mm
Pressure plate diameter: φ680 mm.
SPEEDFAM SP 800は、マイクロエレクトロニクス、セラミックス、その他の材料の高精度研削のために設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。さまざまなウェーハ上で平坦面と平行面を生成するために使用され、ウェーハ全体の平坦度、表面粗さ、並列性において厳密な均一性を提供します。SP 800は、多機能研削、ラッピング、研磨ユニットを備えた自動システムです。シングルスピンドルを搭載しており、シングルサイクルで各種研削、ラッピング、研磨を行うプログラムが可能です。回転速度を調整可能なロータリードライブを搭載し、ディスプレイ付きのコントロールユニットを備えており、粉砕パラメータや設定を簡単に管理できます。このユニットは、環境チャンバー内で動作するように設計されており、統合された真空動作を提供します。SPEEDFAM SP 800は、モジュール設計とプログラム可能なセンタリングマシンにより、最大限の効率と柔軟性を提供します。センタリングリングはウェーハごとに調整可能で、タイトな公差を持つ完全にフラットなウェーハを提供します。SP 800はまた、アライメント軸を監視および制御し、結果の精度を向上させる統合キャリブレーションツールを備えています。SPEEDFAM SP 800には、光収差を補正するための変形ミラーアセットも装備されています。これにより、ウェーハが完全に平坦で光学的に均質であることが保証されます。さらに、ウェーハはダイヤモンドラッピングプレートでラッピングされ、ユーザーは必要な表面仕上げと平坦性を達成することができます。SP 800は、石英、溶融シリカ、サファイア、金属、プラスチック、セラミックスなど、さまざまな素材を使用することができます。このモデルには直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、研削ホイールの直径、速度、ストロークなど、さまざまなカスタマイズオプションが用意されています。SPEEDFAM SP 800は、さまざまなジョブにプログラミングできる自動サンプラーも提供しています。SP 800は、高精度の研削、ラッピング、研磨プロセスに最適です。それは信頼でき、耐久、作動すること容易です。さらに、SPEEDFAM SP 800は幅広い機能を備えており、最小限の労力で優れた結果を得ることができます。
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