中古 SPEEDFAM SP 800 #143296 を販売中

SPEEDFAM SP 800は、高度な半導体ウェーハの再現性、高精度加工を目的に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは統合された空気軸受けサポート、調節可能で、構成可能な磨く段階および十分に自動化されたトレーサビリティが付いている卓上取付けられた紡錘の作業ヘッドから成っています。このシステムは、ウェーハの確実な取り扱いと正確な位置決めのためのエアベアリングを備えた高トルク、低速スピンドル、ならびに効果的な研磨作業のための調整可能で構成可能な研磨段階を利用しています。ユニットの重要な特徴は、負荷を監視し、プロセスを安定して一貫した状態に保つことによって、研削および研磨プロセスを正確に制御する能力です。完全に自動化されたトレーサビリティマシンは、研削および研磨パラメータ、エラー回復履歴、および過去の傾向を含む研磨プロセスの正確な記録を提供します。これにより、欠陥誘発スクラップとリワークを最小限に抑えることができます。また、統合されたプロセス制御パラメータとアラーム管理を備えた直感的なグラフィカルHMIも提供します。さまざまなアクセサリーも利用でき、ユーザーはツールをカスタマイズしてさまざまな研磨アプリケーションに合わせて設定できます。全体として、SP 800は、高度な半導体ウェーハ材料の再現可能で高精度な処理に最適です。