中古 SPEEDFAM SP 1200 #9259369 を販売中

SPEEDFAM SP 1200は、自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この汎用性の高いユニットは、正確で反復可能なウェーハ処理用に構築されています。基板の研磨・研磨に加え、ウェーハの前後にラップ板を回転させるオプションで、微細なウェーハラップにも使用できます。このシステムは、最大500mmのウェーハを処理するように設計されており、高いスループットと柔軟性を実現しています。SPEEDFAM SP-1200に600x750x525mm （l x w x h）の次元の働く部屋があります。内部の高さは、ウェーハの厚さとウェーハラップの両方で380〜475mmまでカスタマイズできます。作業室の内部圧力は2段階の粉塵抽出器によって維持され、プロセス全体でウェーハが汚染されないようにします。自動化されたプロセスには、エンドエフェクタユニットを備えたロボットアームが搭載されており、真空チャック、ダイヤモンドスラリーカップ、ロータリープレートを含む研削、ラッピング、研磨（GLP）モジュールを動作させます。回転式版は300-1500 rpmの範囲で回ります粉砕または磨くプロセスの速度の厳密な制御を可能にします。GLPモジュールには、空気供給、ポンプ圧力、粉砕力と速度、チャンバー内の相対湿度、基板サイズと圧力などのパラメータを監視する診断機も装備されています。これにより、ツールが最適なレベルで動作することが保証されます。ウェーハの取り扱いを容易にするための積み下ろし機能を備え、最大50個のウェーハプログラムを格納することができます。また、操作中に資産を簡単に監視および制御できる直感的なユーザーインターフェイスを備えています。SP 1200は、信頼性の高い一貫したウェーハ処理を保証するように設計されています。その堅牢で信頼性の高いモデルは、より迅速な完了時間、正確で再現可能な結果、汚染リスクの最小化、プロセス制御とパフォーマンスの向上など、手動プロセスに比べて多くの利点を提供します。