中古 SPEEDFAM SNG-32BAW #9279646 を販売中

SPEEDFAM SNG-32BAWは、完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。6インチ、8インチ、12インチ、および16インチのウェーハを処理するように設計されており、最大容量は16インチです。熱ドリフトを低減し、精度を向上させる液冷スピンドルと、3段スピンドル速度制御システムを備えています。また、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御し、プロセスのバリエーションを最小限に抑え、製品歩留まりを向上させるように設計されています。SNG-32BAW機能には、温度安定性を維持するマルチゾーン環境エンクロージャを備えたPLCコントローラが含まれます。このマシンには、1つまたは2つのウェーハを同時に研削するように構成できる2つの独立したヘッドストックが装備されており、精密で低マイクロカットの研削精度のための高精度チャックユニットを備えています。機械はまた一貫した粉砕圧力のための高圧潤滑機械を、含んでいます。ラッピングプロセスは、ヘッドストックに取り付けられた内部惑星ギアツールによって完了します。このマシンは、0。3 μ mの変位精度のための高精度の回転運動駆動アセット±備えています。また、ラッピング速度調整用の3ゾーン可変回転モーションコントロールモデルを提供し、直径6、8、12、および16インチのウェーハをすばやく切り替えることができます。SPEEDFAM SNG-32BAWは、マルチゾーンの惑星可変速度制御装置と簡単なプログラミングアルゴリズムを備えたさまざまな研磨オプションを提供しています。タッチスクリーンコントローラの助けを借りて、均一な研磨結果を確保するのに役立つステップバイステップの研磨シーケンスをプログラムすることが可能です。さらに、内側と外側の研磨ツールは、異なる研磨速度と設定で構成することができます。SNG-32BAWはまた、大規模なデータ収集システムとデータ分析ユニットを備えており、プロセスのパフォーマンスを追跡、分析、最適化するために使用できます。また、オプションのコンピュータベースのグラフィックス処理ユニット（GPU）に接続して、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスの高度なデータ分析および監視を行うこともできます。SPEEDFAM SNG-32BAWは汎用性が高く信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨機で、プロセスのバリエーションを最小限に抑えて正確な結果を得るように設計されています。堅牢なPLCコントローラ、可変速度制御ツール、データ収集および分析資産を組み込むことで、堅牢で正確なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置をお探しのお客様に理想的なソリューションとなります。