中古 SPEEDFAM SH-24 #9255915 を販売中

SPEEDFAM SH-24
ID: 9255915
ヴィンテージ: 1996
Single head polisher, 24" Plate diameter Rough polishing: 609.6 mm Final polishing: 656.0 mm Pressure plate diameter: 228.6 mm Polishing plate rotation speed: 6 - 36 rpm Pressure plate drive speed: 6-36 rpm Oscillation width: 520 mm maximum Oscillation speed: 5 - 30 mm/sec Pressure plate FWD/BWD stroke: 70 mm Pressure cylinder: 100 x 120 st Electrical / Air specifications: Main motor: 2.5 kW, 4 P Oscillation motor: 0.9 kW Pressure plate drive motor: 0.2 kW, 4 P Air pressure: 4.5 - 5.0 kg/cm² Air supply: 22 N1/hr Control circuit: 100 V, 1 Phase, 50/60 Hz Main power: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz Total: 2.52 kW 1996 vintage.
SPEEDFAM SH-24は、超高精度ウェーハの高収率、コスト効率の高い量産を可能にする精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは最先端の性能および効率を提供するために最も最近の技術の進歩と設計され、製造されます。SH-24は革新的なスピンドルフィードシステムを備えており、1。0から最大160 µm µm回転あたりのインデックス作成が可能です。これにより、正確かつ再現性のあるラッピングおよび研削結果が保証され、最適な表面仕上げと平坦性が保証されます。内蔵のデュアルステージサーボモータにより、高いスピンドル速度安定性を確保し、多種多様な材料のラッピングと研磨を可能にします。SPEEDFAM SH-24には、先進的なラッピングプレートローダーも搭載されており、複数のラッピングプレートを素早く積み降ろしし、即座にウェハを準備することができます。これにより、スループットと生産効率が大幅に向上します。さらに、統合されたウェットスクラバーは、均一で一貫した液体配達を保証し、手動での拭き取りと洗浄の必要性を排除します。また、ウェーハSH-24処理段階を監視し、最適な結果を得るために自動的に圧力と速度を調整するオプションのビジョンユニットを装備しています。これにより、加工困難な材料でも均一な表面仕上げと平坦性が保証されます。オプションの自動基板プリクーリングマシンにより、SPEEDFAM SH-24の性能がさらに向上します。これにより、微妙な基板の熱損傷を防ぎ、全反発を最小限に抑えます。さらに、冷却ツールは優れたプロセス制御と均一性を提供します。全体として、SH-24は汎用性が高く、費用対効果が高く、信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、超高精度ウェーハの高収量、一貫した精密生産を目的として設計されています。高度な機能により、SPEEDFAM SH-24は正確で再現性の高い結果を提供し、高いスループット、運用コストの削減、全体的な生産性の向上を実現します。
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