中古 SPEEDFAM SH-24-H #176378 を販売中

SPEEDFAM SH-24-Hは、単一の一貫生産ラインで高効率のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。直径300mmまでの高精度・大径ウェーハの同時加工が可能です。自立型ロボットアームを採用し、ラップ、研磨、研磨の連続工程の間に様々なサイズのウェーハを正確にピックアップして配置することができます。ラッピングプロセスは不規則性を減らし、ウェーハの表面の均一性を保障します。高度な多軸モーションユニットと精密ハイドロエラスティックプレスの組み合わせにより、優れたウェーハ平坦性と均一な表面仕上げを実現します。マシンは、特許取得済みの高精度のDP-24ホイールを使用して、コンピューター制御下で素早く回転させ、ラッピング操作を実現します。ホイールには、最大4つのグリットサイズを供給するための統合された発振装置が装備されています。研削プロセスは、ウェハ表面の地形をさらに洗練します。SPEEDFAMカスタムデザインのSH-24-H研削ホイールは、この目的のために特別に設計されています。ホイールは研削工程を精密表面研削工程に分割し、続いて素早い仕上げ研削工程を行います。表面研削工程では、CNC制御ホイールがウェーハに3軸力を加え、柔軟な研削ホイールがウェーハの輪郭を同時に追従します。仕上げの粉砕ステップでは、ホイールは同じモーション経路に従いますが、より高い解像度で、はるかに高いフィードレートを備えています。ウエハ表面の形状や質感をさらに洗練させます。SPEEDFAM SH-24-Hは、2つの異なる研磨技術を採用しています。まず、全自動ゼロクリアランス検査ステーションを採用し、ウェーハの全球形状精度を測定し、微細なバリを排除します。次に、多軸ロボットアームは、ウェーハ表面全体に精密な研磨力を適用します。その後、ウエハーは、光学的に透明な研磨パッドが確保されている4つの独自の研磨板の1つで方向づけられ、凹んでいます。このパッドは一貫した、制御された結果のための特別に作り出された磨く混合物と共に使用される精密に等級別にされた機械磨く媒体を含んでいます。全体として、SH-24-Hツールは非常に汎用性が高く、高性能なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産であり、最も厳しい生産要件を迅速かつ容易に満たします。その高度な技術により、モデルは高精度を保証し、ウェーハ仕上げの最高品質を保証します。