中古 SPEEDFAM SFDL-9B-5L #9223971 を販売中

SPEEDFAM SFDL-9B-5Lウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、半導体ウェーハなどの電子部品の高精度表面仕上げ用に設計された自動加工機です。このマシンは、2つのウエハを同時に研磨および研磨することができるデュアルスピンドル設計を備えています。これにより、スループットを向上させ、処理時間を短縮できます。SFDL-9B-5Lには、ウエハ研削、ラッピング、研磨プロセスのすべての側面を処理することができる5軸ロボットアームも付属しています。このロボットアームは、圧力と結果の均一性を確保するために、さまざまな角度と速度でスピンドルを動かすことができます。また、このアームにより、オペレータは複数のワークでユニークな表面仕上げを同時にプログラミングすることができます。ロボットアームは3。7 kWのACモーターで駆動され、最大50,000 RPMの速度でスピンドルを動作させることができます。スピンドル自体は、優れた性能を保証する高度で軽量で耐食性の高い材料で作られています。さらに、各スピンドルには独立した振動センサーが装備されており、動作中に一貫した結果が得られます。このマシンはまた、設計要件に応じて最大5段階で完全に自動化された研磨プロセスを備えています。これには、1000グリットの研磨紙、高精度のダイヤモンド研磨化合物、そして最終的にはミラーのような輝きを実現するための柔らかい研磨プロセスが含まれます。これにより、各ウェーハの均一で高精度な表面仕上げが保証され、一貫性のないものとなります。SPEEDFAM SFDL-9B-5Lは、すべての関連する運用情報を表示し、ユーザーが正確な結果を得るための設定の広範なデータベースにアクセスすることができます完全に統合されたモニターを持っています。これには、スピンドル速度、ラッピング圧力、研磨期間などの研削および研磨プロセスに関する詳細な情報が含まれます。最後に、SFDL-9B-5Lにはシステムの安全で適切な動作を保証する安全機能が組み込まれています。これには、動作検出器、制御システム、および自動的に機械が故障した場合に停止する緊急シャットオフが含まれます。これにより、お客様の安全と生産された電子部品の品質が損なわれることはありません。