中古 SPEEDFAM SFDL-9B-5L #9166349 を販売中

ID: 9166349
ヴィンテージ: 1987
Double sided lapping machine 1987 vintage.
SPEEDFAM SFDL-9B-5Lは、ハイエンド技術アプリケーションのさまざまなニーズに対応するように設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、マルチディスク研削機構、5軸研削ヘッド、および研削速度と精度を向上させるための双方向リニアムーブメントを備えています。このユニットは、ユーザーが望む制御で正確な研削、ラッピング、研磨を提供するように設計されています。モーターを備えられた粉砕ディスクに2つの回転ディスクがあり、各ディスクに9つまでのダイヤモンドによって浸透させる粉砕の頭部があり、ウェーハの端のまわりで精密な粉砕を可能にします。さらに、5軸研削ヘッドは、直径、ラジアル、ねじりなどの複雑な動きを可能にすることで、精度をさらに向上させます。SFDL-9B-5Lはまた、可変速度ドライブモーターを備えており、切断と平滑化を最適化するために調整可能です。これにより、より高速な精度と、ウェーハの仕上がりと滑らかさを制御する能力を提供します。ADC (Advanced Data Control)ソフトウェアを使用すると、速度、力、粉砕圧力などの主要な機械パラメータを追跡できます。5軸ヘッドにより、複雑な形状を研削する際の先端テーパ角度制御も可能です。さらに、SPEEDFAM SFDL-9B-5Lには、長期的で信頼性の高い動作を保証するために設計された多くの機能があります。このツールには、最先端の封じ込められたほこりのない環境が含まれています。これにより、繊細な研磨・研磨作業を行うクリーンな環境を確保し、汚染のリスクを低減します。このアセットには、4点式換気モデル、HEPAフィルター付きファンモーター、および集塵を制御する手動エアバルブが含まれており、安全な作業環境をさらに確保します。全体として、SFDL-9B-5Lは、今日のハイテク業界のアプリケーションで必要とされる精度と精度のための信頼性と効率的な研削、ラッピングおよび研磨装置です。SPEEDFAM SFDL-9B-5Lは、高度な制御システム、マルチディスク研削機構、5軸ヘッド、最先端のダストフリー環境などを備え、あらゆるウェハ研削および研磨アプリケーションに安全で正確なソリューションを提供します。
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