中古 SPEEDFAM SEP-310 #9366384 を販売中

SPEEDFAM SEP-310は、高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。さまざまな厚さのウエハーを迅速かつ効率的に研削、ラッピング、研磨するための高度なソリューションを提供します。このシステムは、ユニークで特許取得済みの高精度ガントリーユニットと認定された高品質の製品で設計されており、一貫した反復可能な結果を保証します。それは有効な粉砕、ラッピングおよび磨くことのための標準的なダイヤモンドのラッピングおよび磨く版と来ます。このマシンはまた、より速いサイクルタイムのために自動ローディングとアンロードを備えています。このツールは、半導体ウェーハを効果的に研削、ラップ、研磨し、望ましい表面仕上げと表面形状を実現するように設計されています。アセットは、高精度の光学仕上げを提供するために、モノクロレーザーとCCDカメラで構成することができます。また、ウェーハ表面の平坦度や地形を測定する5軸ポジショニングモデルを備えた高精度3Dカメラを搭載しています。高精度で均一な研削、ラッピング、研磨を実現するために、強力なモータが装置に組み込まれています。また、フルサイズで完全に囲まれた環境チャンバーを備えており、ウェハ研削、ラッピング、研磨のためのほこりのない環境を提供します。チャンバーには強力な換気装置と暖房および冷却システムが装備されており、環境を所望の温度と湿度レベルに保ちます。チャンバーには、研削、ラッピング、研磨プロセスのパフォーマンスを監視および改善するための測定器も装備されています。このユニットは、濡れたプロセスと乾いたプロセスの両方で動作することができ、金属、セラミックス、複合材料、その他の硬質材料などの加工材料に適しており、望ましい表面仕上げを実現します。その高度な技術により、機械は0。5nm Ra未満の表面仕上げを達成することができます。このツールには、プロセスを制御および監視するためのユーザーフレンドリーなソフトウェアも装備されています。結論として、SEP-310は速く、信頼でき、正確な結果を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨アセットです。その高度な技術により、異なる厚さのウエハを迅速かつ正確に研削、ラッピング、研磨することができます。また、使いやすく、ヒューマンエラーのリスクを最小限に抑えて再現可能な結果を得ることができます。