中古 SPEEDFAM JND 9B-5SSG-IV #9267138 を販売中

SPEEDFAM JND 9B-5SSG-IVは、今日最も要求の厳しい集積回路の高度な製造のために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン基板上の45度と90度のエッジ、および最大12インチ（300mm）のICを含む、最も複雑な集積回路に対して超精密な研削、ラッピング、および研磨性能を提供します。このユニットは、0。1ミクロン以下の低耐久表面仕上げを保証するために、複数のヘッドを組み合わせた固定ヘッド設計を採用しています。また、基板や集積回路材料に関係なく、可能な限り最良の結果を保証する高度な圧力制御技術を備えています。このツールは、ダイヤモンド工具を使用して高精度のラッピングと研磨を実現し、最適な表面仕上げのために複数の種類のダイヤモンド工具消耗品を選択できます。ダイヤモンド工具は、荒削り、プライマリ、セカンダリラッピング、研磨研磨など、さまざまなウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスに使用できます。ウエハ研削、ラッピング、研磨資産には、自動速度と圧力制御を可能にする高度なコンピューター制御自動システムも装備されています。統合された緊急停止ボタンを含む安全機能の完全なスイートとともに、これは安全で信頼性の高い操作を保証します。小型のフットプリントとモダンなデザインにより、クリーンルームのレイアウトやプロセスに最適です。また、インテリジェントな設計により、ウェーハ間のクロス汚染とプロセス流体の再循環を最小限に抑えます。ユーザーフレンドリーで直感的なヒューマンマシンインターフェイス（HMI）と柔軟な制御ソフトウェアは、簡単な操作、レシピ制御、および再現性の高い結果を生成するために使用できる完全なSPC/SQCデータロギング/分析機能を提供します。その上に、このウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、包括的な3年間の部品と労働保証によって支えられています。