中古 SPEEDFAM JND 9B-5P #9166272 を販売中

ID: 9166272
ヴィンテージ: 1985
Double sided lapping machine Wrap Sizing 1985 vintage.
SPEEDFAM JND 9B-5Pは、すべての研磨およびラッピング作業において優れた性能、精度、および汎用性を提供するように設計された精密ウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、2つの研磨/研磨ヘッドを使用して、6×3インチまでの大型ウェーハを迅速に研削および研磨します。2ヘッド研磨ユニットは、自動ウェーハのローディングとアンロードのために設計されており、手動の選択とローディングの必要性を排除します。機械はさまざまな種類の基質の粉砕、ラッピングおよび磨く操作に使用することができます。このツールは、ユーザーフレンドリーな9インチのタッチスクリーンコントローラを備えているため、プログラムと操作が簡単です。アセットのバックグラインドヘッドは、2つの精密研削ホイールを使用して、ウェーハの裏面を正確に研削します。モデルの磨く頭部はウェーハを緩め、磨くことができます;標準的な粉砕車輪を使うと、磨くことはダイヤモンドの研摩剤か慣習的な研摩剤とすることができます。装置の一定速度コントローラは、異なる基板タイプと事前にプログラムされた研磨パラメータに合わせて調整し、一貫した品質を保証します。このシステムは、ウェーハをプリラップしてさらなる処理を行うように設計されており、また、正確なウェーハ処理のための表面を提供します。このユニットには磁気ディスクのサポート機構も備えており、複数のキャリアとディスクを使用することができます。JND 9B-5Pは、外部クランプ装置を必要とせずにウェーハを自動的に研磨することができ、手動クランプ操作にかかる時間とコストを節約することができます。垂直調整可能な磁気チャッカーは、機械の能力と柔軟性をさらに高めます。チャッカーを使用すると、ウェーハをラップするだけでなく、プロセスが終了した後に直接研磨して簡単に交換することができます。このツールはまた、自動ウェーハセンタリングを備えており、均一な研磨/ラッピングパラメータの原材料の均一な分布を保証します。さらに、このアセットは統合された冷却モデルを提供し、最適な結果を得るために研磨チャンバとウェーハの温度を一定に保つのに役立ちます。全体として、SPEEDFAM JND 9B-5Pは、連続的な自動運転のために設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。その2頭部構成は1つのパスで精密な磨くことを可能にします統合された磨く部屋、冷却装置および磁気チャッカーは究極の制御および多様性を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、広範なプロセス機能、および調整可能なパラメータを備えたJND 9B-5Pは、最も厳しいアプリケーションの高度で厳しい要件に適しています。
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