中古 SPEEDFAM JND 9B-5P-IV #9166274 を販売中

SPEEDFAM JND 9B-5P-IVは、高精度の半導体加工のために設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。大型ウエハ（直径6インチまで）の研削から超高研磨仕上げまで、幅広い機能を備えています。このシステムは、2つの研削ステージと1つの研磨ステージを含む3段階のプロセスを持っています。研削工程では、ダイヤモンドチップ工具を使用して、ウェーハに非常に高い表面仕上げを施します。研磨段階では、ダイヤモンド工具はポリウレタンラップに置き換えられ、ウェーハはラップ表面に対して手動で保持されながら、その中心をゆっくりと回転します。これにより、非常に正確で均一な研磨プロセスが可能になります。JND 9B-5P-IVユニットは、電気機械式ウエハハンドリングユニット、循環ろ過ユニット、研磨台、スラリー分注ユニット、コンピュータ制御ステーションで構成されています。ウエハハンドリングユニットはモジュラー設計で、一度に2つの異なる直径のウエハ処理が可能です。また、取り扱い時のウェーハの破損や汚れを防ぐための安全機能も内蔵しています。循環のろ過の単位は絶えず再使用のために使用された研摩剤をろ過します。研削および研磨テーブルには、モータ駆動のダイヤモンドツールホルダーが2つ搭載されています。2つのホルダーは、さまざまなサイズのウェーハに対応するために、垂直および水平に調整可能です。スラリーディスペンスユニットは、ダイヤモンドツールホルダーに適切な量の液体スラリーを供給する重力供給コンテナです。コンピュータ制御ステーションは、ウェーハサイズと厚さ、研磨と研磨時間、および表面仕上げを含むすべての機械のパラメータをプログラムして監視するために使用されます。全体として、SPEEDFAM JND 9B-5P-IVは、半導体加工アプリケーションに適した信頼性と高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。モジュール式の設計により、セットアップと使用が容易になり、コンピュータ制御ステーションにより、ユーザーはツールを迅速かつ効率的にプログラムして監視し、最適な結果を得ることができます。