中古 SPEEDFAM JND 28B-4P #9225430 を販売中
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SPEEDFAM JND 28B-4Pは、半導体ウェーハの製造に使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、その他の材料を含むさまざまな材料で高精度で高品質な表面を生成することができます。主な部品は、研削砥石、ウェハー保持板、回転研削砥石です。研削ホイールは、適切な方向に回転すると、ウェーハの表面から材料を切断するように構成されています。ウェーハ保持板は、研削工程中にウェーハを確実に所定の位置に保持することを保証します。研削工程は、研削砥石の動きを測定する自動機械と、ウェハと研削砥石の間のインターフェースによって制御されます。このツールは、研削プロセスを正確に制御することができ、研磨材料の無駄を最小限に抑えてウェーハを所望の仕様に加工することを保証します。研削工程に続いてラッピング工程が行われます。このプロセスでは、パッドと回転ダイヤモンドディスクを使用して、希望の仕様に設定すると、ウェーハ上に希望の表面プロファイルと平坦性を作成します。このプロセスも自動化されており、通常、ウェーハ上で製造されるデバイスの要件を満たす特定の表面テクスチャを生成するように設計されています。最終工程は研磨で、ラッピング時に発生する表面粗さを処理します。研磨プロセスは、完璧な表面を作成するために、研磨化合物、圧力と熱の適用を含みます。研磨工程も自動化されており、ウェーハの片側に研磨剤を、もう片側に研磨剤を使用することがよくあります。JND 28B-4Pは、半導体ウェーハの製造に使用するために設計されており、寸法と表面品質を修正するために加工されています。半導体デバイスの製造に適した高精度で高品質な表面仕上げを実現するため、ウェーハの研削、ラッピング、研磨が可能です。
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