中古 SPEEDFAM JND 21B-5P-II #9133576 を販売中

SPEEDFAM JND 21B-5P-IIは、光学部品、半導体、光機械部品の高精度で滑らかな表面を生成するために使用される、完全に自動化された多方向研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、大幅な増分サイクルタイムなしで最高の精度の仕上げを提供するように設計されています。直径2インチから8インチまでのウェーハに優れた仕上がりを実現します。JND 21B-5P-IIには、リニアモーション、回転モーション、インデックスモーションを備えた5軸モーションユニットが装備されています。これにより、繰り返し可能で一貫性のある結果を得るためのプログラムの迅速なプログラミングが可能になります。研削ヘッドは、研削と研磨が均等かつ正確に行われることを保証するために、浮遊研磨プラテンと耐衝撃性コーンカップで設計されています。また、スムーズで一貫性のある仕上がりを確保するために、ダブルプレートが取り付けられ、自己補償スピンドルドライブが装備されています。SPEEDFAM JND 21B-5P-IIの研磨ヘッドは、統合された液体ソリューションリザーバーとヒーターを備えており、研磨のための制御された環境を提供します。ヒーターは一貫した温度を維持し、液体は溶液ヘッドを通して供給され、一貫した研磨面を作り出します。このマシンは、最高の仕上がり品質を確保するために、完全なウエハ検査と自動画像解析を可能にするビジョンステーションを備えています。また、研削工程で均一な表面を確保するための自動研削設定も備えています。このツールには、リアルタイムのプロセス制御と監視機能を備えた高度な制御アセットも装備されています。制御モデルは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータはプロセスパラメータを素早く設定して監視することができます。JND 21B-5P-IIは、高度に自動化された方法でウェーハ上の優れた仕上がりを生成するための信頼性と効率的な方法です。高精度の研磨・研磨機能により、滑らかで正確な表面を持つ光学部品、半導体、光機械部品の製造に最適です。