中古 SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH #9066799 を販売中

ID: 9066799
ヴィンテージ: 2004
Polisher Double sided with (3) motors Rotational speed: 10 ~ 60 rpm Surface plate: φ 1154 x φ 364 (Inner diameter) x 50 2004 vintage.
SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MHウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、最も要求の厳しい半導体製造アプリケーションのニーズを満たすように設計されたエリート研削、ラッピングおよび研磨システムです。プラテンサイズは16インチ(41 cm)、アンバランスオリフィスは5 mm、真空テーブルは3 m/h、駆動力は0。55 kW、純重量は270 kgです。それは製造業者が最高レベルの精密、表面の終わりおよび耐久性を達成するのを助けるように設計されています。このマシンは、プライマリ・プラテンとセカンダリ・プラテン、ならびに回転テーブルで構成されています。プライマリープラテンは270度の調整可能な圧力で静的な研磨パッドを備え、セカンダリープラテンは独立した調整可能な研磨パッドを備えています。両プラテンには、トルクとパワーを追加するための頑丈なリニアベアリングとモーター駆動ツールが装備されています。回転および傾斜テーブルは、大型および/または複数のウェーハを研磨する際の柔軟性を高めるために使用できます。この資産には、強力なダイヤモンドスラリーフィードとディスペンスモデルも組み込まれています。大型ウェハの搬送に便利なスキッドプレートを内蔵。JND 16B-5PV-3MHウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングシステムはまた、振動減衰を改善し、大幅な精度を向上させるための高精度スピンドルモータを組み込んでいます。SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MHウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングユニットは、最小RA 5nmのコンポーネントを生成するように設計されています。最先端の真空技術により、スラリーに存在する気泡の量を減らすことができ、パフォーマンスが向上し寿命が延びます。このツールはまた、研磨材の広い範囲に対応するように設計されており、さまざまな研削、ラピダリー、研磨用途に最適です。資産は、最高レベルの品質と信頼性を確保するための保証およびトレーニングプログラムに裏付けられています。精密な公差と強力なドライブにより、JND 16B-5PV-3MHウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングモデルは、最も要求の厳しい半導体製造アプリケーションに最適です。
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