中古 SPEEDFAM G-32BTGW #9118185 を販売中

ID: 9118185
Lapper / Polisher, 32".
SPEEDFAM G-32BTGWは、多種多様な半導体ウェーハ上に精密表面を生成するための高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムには、2つの独立した制御可能な研削ステーションが装備されており、ウェハの内側と外側の両方の表面の自動処理が可能です。スピンドルとステージは、処理効率を最大化するための可変速度制御も提供します。この設計は、非常に低レベルのノイズ放射と振動を可能にし、高い再現性で結果を生み出します。G-32BTGWの完全自動ウェーハ処理は、強力なDCモータドライブユニットと高精度のステッピングモーターマシンによってサポートされています。そのステンレス鋼の構造は長い耐用年数を保障し、機械がクリーンルームの環境で作動することを可能にします。ウェーハは研削治具にしっかりと固定され、安定した正確な結果を得るためにしっかりと保持されます。このツールを使用して、ウェーハ上のラップおよび研磨面を生成することもできます。CMPステージは、高剛性の3点ベアリング支持設計により、振動を低減しながら精度を向上させます。4つのスピンドルを組み込むことで、アセットは多軸操作に対応できます。また、ポリッシングパッドポータルを内蔵しており、均一性と再現性を向上させます。SPEEDFAM G-32BTGWには、セットアップと操作を簡素化する直感的なヒューマンマシンインタフェースが含まれています。ユーザーは簡単に基板の読み込みとアンロードを行い、操作の進行を監視できます。包括的な運用統計も利用可能で、効率的なプロセス開発と制御を可能にします。リモートメンテナンスやサポートもご利用いただけます。最大の安全性を確保するため、G-32BTGWは保護カバー、インターロック、自動緊急遮断などの包括的な安全機能で設計されています。このモデルは、信頼性の高い性能と効果的な安全対策により、ウェーハの製造とパッケージングに最適なソリューションです。
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