中古 SPEEDFAM EPX 300X #9398834 を販売中

SPEEDFAM EPX 300Xは、生産ニーズに高い性能とスピードを必要とするお客様のために設計された、完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大300ウェーハ/時間の最大処理スループットを備え、大規模生産のために設計されています。プロセスモジュールは、4軸ラッププレートと研磨ヘッドで構成できます。専用の研磨メディアディスペンサー、メソッドエンジニアリングライブラリ、プロセス監視および制御システム、コンピュータインターフェイスが付属しています。EPX 300Xには、高精度な結果を生み出すための高度な設計機能が組み込まれており、優れた費用対効果があります。機械は、研磨媒体とワーク表面の摩擦だけでなく、ワークの厚さを正確に制御することができます。これにより、ウェーハ全体で均一な研削、ラッピング、研磨性能を実現します。このユニットはまた、工程を迅速に追跡し、工具の摩耗を測定する機能を備えているため、生産性の向上と一貫した結果が得られます。SPEEDFAM EPX 300Xの研磨ヘッドは、革新的な回転/スレーブロジックによって制御することができます。さらに、プログラム可能なデジタル制御ユニット（DCU）により、プロセスの開始/停止、温度制御、およびプログラムされたデータ入力を自動化できます。プログラムメモリランタイムは、異なるプラットフォームに保存および転送することができ、より簡単なデータトラッキングを可能にします。人員の安全を確保するために、EPX 300Xにはいくつかの安全機能が装備されています。それは直接接触の危険から人員を保護するために物理的および電子連結両方を特色にします。ロータとモータの速度は、光学センサーと電子センサーを使用して常に監視されます。さらに、それは塵および液体に対して密封される耐久の、耐食性材料と組み立てられます。SPEEDFAM EPX 300Xは、生産速度と費用対効果を最大化するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。その高度な機能、安全機能、革新的なデザインは、高精度の結果とプロセス制御を必要とする顧客にとって理想的な選択肢です。