中古 SPEEDFAM DSP 18B-5P #9170546 を販売中

SPEEDFAM DSP 18B-5Pウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、高度で自動化されたシングルウェーハ、シリコンウェーハおよびその他の材料に使用される表面調整システムで、表面処理要件が厳しいです。直径50mm〜200mmの大型ウエハに最適で、原子レベル、低端粗度表面仕上げ能力を実現しています。DSP 18B-5Pにはクローズドループ式高精度ポジショニングマシンが搭載されており、スピンドルにクオーツエンコーダを搭載し、精密なマイクロステップ制御を実現しています。このオープンループ制御アルゴリズムとクローズドループ制御アルゴリズムの組み合わせにより、再現可能なプロセスが可能になり、高精度で正確な研磨結果が保証されます。このツールは、（1つのステーションで）片面研磨と研磨の両方、または特許取得済みの独自の加工技術で（4つのステーションで）両面同時研磨と研磨の両方を選択できます。このフルコンタクト研削および研磨モードは、ウェーハ表面に均一で一定の圧力を供給し、非常に均一な表面仕上げと優れた品質をもたらします。SPEEDFAM DSP 18B-5Pは、単結晶基板、ガラス、セラミックスなど、幅広い基板を処理します。ユニークなDelta Cu Assetは、プロセス圧力を正確に制御するために組み込まれているため、均一で反復可能なサーフェスが得られます。DSP 18B-5Pは、高度な真空研磨モデルを活用して、廃棄物や汚染を最小限に抑えます。この装置には、プロセスパラメータを微調整し、プロセス全体で正確な接触圧力を維持するための可変速度技術が組み込まれています。各処理ステップはリアルタイムで自動的に監視され、結果は将来の参照のために記録および保存されます。このシステムの堅牢な設計には、タッチスクリーンインターフェイス、アップグレードされた安全機能、さらにオートメーション用のさまざまなアクセサリも含まれています。堅牢で触感のあるデザインと高度な機能を備えたSPEEDFAM DSP 18B-5Pは、一貫した優れた研磨結果を必要とするあらゆるアプリケーションに理想的なソリューションです。