中古 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9223162 を販売中

SPEEDFAM DSM9B-5L-IIIは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この汎用性の高い生産対応システムは、半導体、MEMSおよびその他のマイクロテクノロジー部品の製造において、精度、生産性、コスト効率を最大限に高めるように設計されています。このユニットは、直径300mmまでのウェーハの高精度な研削、ラッピング、研磨を提供します。DSM9B-5L-IIIは、研削、ラッピング、研磨プロセス中に最高の精度と再現性を確保するために、ダブルベアリングサーボ制御スピンドルを装備しています。デジタル表面品質管理マシンは、効率的で一貫した表面仕上げを保証します。マルチチャンネルタッチスクリーンコマンドを備えたこのツールのプログラム可能なデジタル制御アセットにより、ユーザーはプロセスパラメータを保存、編集、監視することができ、幅広いウェーハ処理アプリケーションのために保存されたパラメータをより柔軟に呼び出すことができます。このモデルは、完全に密閉された不活性ガス圧力制御チャンバーと、機器監視用の安全インターロックを備えており、オペレータの保護と生産された表面の汚染を防止します。さらに、このシステムは、最大5つのウェーハを同時に処理することで、自動モードと手動モードで動作する機能を提供します。SPEEDFAM DSM9B-5L-IIIには、最大9種類の研削工具と研磨工具を格納および処理できる堅牢なツールマガジンがあります。このユニットには、特殊な研削と研磨スラリーの様々なだけでなく、サイクルタイムを短縮するための高速track™バリ取りマシンが含まれています。さらに、消泡ポンプ、ノズルスケジューラ、フィルターレス乾燥ユニットなど、さまざまなオプションが組み込まれています。DSM9B-5L-IIIは、半導体、MEMS部品、コンピュータチップおよびその他のマイクロテクノロジー部品のコスト効率が高く信頼性の高い生産に優れた信頼性、精度、再現性を提供します。高精度で堅牢なプロセスにより、ウェーハに一貫した平面仕上げを実現し、形状の偏差が少ない高品質の部品を製造できます。作動し、維持すること容易、資産はマイクロエレクトロニクス部品の信頼できる、費用効果が大きい生産のための理想的な解決です。