中古 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9120349 を販売中
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ID: 9120349
ヴィンテージ: 1991
Polishing machine
Thickness control unit
Slurry tank and pump
1991 vintage.
SPEEDFAM DSM9B-5L-IIIは最先端のウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。高品質の表面仕上げと低コストの所有コストで複雑な基板を仕上げるための、費用対効果の高い信頼性の高い方法を提供します。このシステムには、高精度のスピンドルと可変速度駆動ユニットが含まれており、異なる形状、サイズ、厚さのウェーハを処理することができます。スピンドルヘッドは垂直方向と水平方向の両方で調整可能で、ユーザーはワークの位置を調整することができます。したがって、ウェーハの全径にわたって完璧なツール接触と圧力分布を保証します。このスピンドルは最大100,000 RPMを提供することができ、高い精度と少ないノイズで高速で動作することができます。さらに、DSM9B-5L-IIIには高感度で高度なフィードバック制御ツールが付属しており、速度を自動的に調整し、プロセス全体にわたって優れた均一性を確保します。SPEEDFAM DSM9B-5L-IIIのウェーハ研削に使用される研磨剤は、長持ちし耐久性のある特別な特許取得済みの研磨ダイヤモンド材料です。高い研削力と低い切削熱を組み合わせ、効果的な研削、ラッピング、研磨結果を実現します。さらに、このアセットは直径4インチまでのワークをラップ&研磨する機能を備えており、最も複雑な基板の一部を加工して仕上げることができます。装置の作り付けの特許を取られた冷却モデルはラッピング及び磨くプロセスの間に工作物の冷却を促進するのに特別な冷却チャネルを利用します。冷却プロセスにより、機械の動作温度が大幅に低下し、ウェーハとダイヤモンド研磨剤が過度の加熱から防ぎ、損傷から保護されます。最後に、DSM9B-5L-IIIには、衝撃保護や安全スイッチなどの安全機能が搭載されており、監督なしでの走行を防ぎ、オペレータの安全性と機械の完全性を保護します。また、スペアパーツを最小限に抑え、メンテナンスコストも低く、効率的でメンテナンスも容易です。全体的に、SPEEDFAM DSM9B-5L-IIIウェーハ研削、ラッピング&研磨ユニットは、高精度で一貫した結果を求めるあらゆるラボに最適です。その特許取得済みの技術は、複雑なワークを非常に正確に仕上げ、運用コストを大幅に削減する手頃な価格で信頼性の高い方法を提供します。
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