中古 SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MH #9273142 を販売中

SPEEDFAM DSM22B-6PV-V4MHは、最先端のウェーハ研削、ラッピング&研磨（WGLP）装置です。直径6インチのウェーハまで対応可能で、半導体材料の前処理および後処理に最適です。このシステムは、垂直スピンドルモーター、2つの回転研削盤、および使用される研磨剤とプラテン材料に応じてさまざまなプロセスを提供する2つのダイヤモンドプラテンで構成されています。さらに、研削ディスク速度と垂直スピンドルモータ速度を個別に制御することができます。WGLPプロセスを最適化するために、水ノズルは粉砕ホイールとウェーハ表面を水で濡らし、真空ノズルは粉砕プロセスによって発生する塵を吸い込んで安全に処理します。単位にプロセスの間に粉砕/磨く力の安定性を保障する信頼できる行為力の制御があります。さらに、高度な制御装置はプロセス中にリアルタイムの操作制御を提供し、故障が発生した場合は警告ツールがオペレータに警告します。アセットは費用対効果が高く、高精度の表面処理を提供します。操作とメンテナンスが簡単で、研削、ラップ、研磨が必要な方に最適です。