中古 SPEEDFAM DSM10.5B-5PV #9222206 を販売中

SPEEDFAM DSM10.5B-5PVは、大量の精密マイクロフィニッシング用途向けに設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高精度・超安定研削・ラッピング機能を備え、各種基板に最適な表面仕上げを実現します。このユニットは、10 x 5のウェーハ研削ホイール、5つのスピンドルヘッド、5つの分離可能な研磨ヘッドをベースプラットフォームにすべて搭載しています。各スピンドルは、ホイール速度の自動バランシングとユーザーの調整可能な速度で独立して操作されます。5本のスピンドルヘッドはすべて同時に制御することができ、ウェーハの同時研削とラッピングを可能にします。5つの分離可能な研磨ヘッドには、プロセスを自動化するセンサーと、ラッピングエリアを清潔に保つための掃除機が装備されています。この機械には、研磨粒子のないラッピングおよび研磨領域を維持するための集塵ツールも含まれています。SPEEDFAM DSM10.5B-5PVは、5マイクロメートル以内に均一な表面仕上げと平坦性を実現し、高い材料除去率と均一なウェーハ厚を実現します。ダイヤモンド、CBNまたはアルミナ研磨剤を使用した研削砥石で、シリコンやサファイアなど様々な材料の加工に最適です。SPEEDFAMは、再現性と精度を確保するために、温度センサー、真空シャワー、ブースト、ダストマスク、セーフティライトカーテン、ノースパークブラシレスモーターなどの安全機能を備えています。また、自動化された保護装置を搭載し、操作中の装置や砥石の損傷を防ぎます。さらに利点は、プロセス要件に基づいてカスタマイズ可能なセットアップを可能にするユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスです。全体的にSPEEDFAM DSM10.5B-5PVは、優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨システムであり、正確な結果を高精度かつ安定性で提供することができます。複数のユーザー調整可能な速度設定と自動安全機能を備えたこのユニットは、高品質のマイクロフィニッシュ基板を製造するための信頼性と費用対効果の高い方法を提供します。