中古 SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42 #9073040 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42は、半導体産業で使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。厚さ5mmまでのウェーハの精密加工が可能です。ウェーハ切断端や薄膜を損なうことなく、研削、ラッピング、研磨作業を正確に行うように設計されています。機械は次の部品から成っています：器械の基盤、可変的な速度モーター、可変的な頻度ドライブ、研摩ベルト、ゴム製研削パッド、ラッピングペーストおよび磨くパッド。インストゥルメントベースは、耐振動部品で構成された剛性のあるスチールフレームで構成され、熱膨張を最小限に抑えるように設計されています。研磨ベルトの駆動には、最大速度4000rpm、周波数10Hzの可変速度モータを使用します。可変周波数駆動は、モータの速度と方向を制御し、コンピュータ制御動作を提供するために使用されます。研磨ベルトは柔軟な素材で構成されており、ウェーハから余剰素材を損傷することなく除去するように設計されています。柔らかいゴム研削パッドを使用して、ウェーハ表面をさらに研磨し、研磨のために準備します。ラッピングペーストは、滑らかな表面仕上げを作成し、表面の透明度を高めるために使用されます。最後に、研磨パッドを使用してウェーハ表面を鏡面仕上げにします。DSM 9B-5SSG-42ツールは、それぞれ5および2マイクロインチ（µm）の最大表面平坦性と滑らかさを達成することができます。この資産は、手動の代替品と比較して、わずかな時間で表面準備プロセスを完了することができます。さらに、コンピュータ制御の動作により、一貫した結果が保証され、ウェーハの組成やプロセスパラメータの変更に対応するためにモデルを簡単に校正できます。SPEEDFAM DSM 9B-5SSG-42は、半導体業界における高精度ウェーハ作製に最適なソリューションです。