中古 SPEEDFAM DSM 9B-5P #9380940 を販売中

ID: 9380940
ヴィンテージ: 1994
Single sided polisher Motor Missing parts: Cylinder Inverter Platen assembly Soft start speed control Electrical part 1994 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5Pは、多目的ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。SPEEDFAM DSMシステムは、独自の回転スピンドル設計を採用し、研磨研磨および研磨プロセスを正確に自動制御します。この高度なシステムはコンパクトで、自動ローディングシステムとの統合を可能にし、完成したウェハの望ましい形状と表面仕上げを実現するために必要な複数の処理ステップに、堅牢で効率的なソリューションを提供します。9B-5Pユニットは、研削、ラッピング、研磨機能の広い範囲を提供しています。0。3mmから20mmまでのサイズのウェーハの研削、ラッピング、表面仕上げ、研磨など、さまざまな自動化プロセスに適しています。さらに、機械は、横軸と縦軸の両方の方向に研削スピンドルを調整することができます。9B-5Pツールは、4つの異なる研削技術を提供しています。これらは、ウェーハ上の直線エッジを生成するために使用される台形研削を含みます。また、センタレス研削機能を備えており、フラットとカーブの両方のウェハを作成するために使用することができます。このアセットにはベルト駆動のラッピング技術も搭載されており、ウェーハ上で平面と凹面の両方の地形を生成するために使用されます。最後に、SPEEDFAMの特許を取得した5P研磨手順がモデルに含まれており、この研磨装置は幅広いウェハ上で非常に滑らかな表面を生成することができます。9B-5Pシステムは、1時間あたり最大80ウェーハを実行することができます。自動化されたコンベア給水式または乾式研削、ラッピング、研磨手順を備えており、各ステップの速度、圧力、時間をカスタマイズできます。さらに、さまざまな高度なセンサーと診断モニターを使用して、ユニットのパフォーマンスを継続的にフィードバックします。DSM 9B-5P機は、自動化された生産とコスト削減のアプリケーションのための汎用性と信頼性の高いツールです。研削、ラッピング、研磨プロセスを迅速かつ正確に制御し、製品品質を最大化し、オペレータの労力を最小限に抑えることができます。スピード、効率、幅広い機能により、9B-5Pツールは、半導体やその他の先進産業におけるさまざまな複雑なウェーハ研削、ラッピング、研磨アプリケーションに最適です。
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