中古 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166340 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、半導体用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この機械は、ウェーハの再現性と一貫性を確保するために、高精度で高品質の部品で作られています。このシステムは、X、 Y、 Z、 A、 B軸に沿って移動する5軸モーションプラットフォームを備えています。これにより、ミクロンレベルの精度で研削および研磨ヘッドの正確かつ再現性の高い位置決めが可能になります。また、人間工学に基づいたクランプホルダーを備えており、ラップや研磨時にウェーハを確実に保持および操作できます。研削、ラッピング、研磨ヘッドは、強力な高速モータースピンドルによって駆動されます。スピンドルは、ヘッドが基板を過労し、ウェーハを損傷させるのを防ぐために速度調整されています。ダイヤモンド研削ホイール、オイル潤滑、空冷ラッピングフォイル、研磨パッドなど、特殊なアタッチメント治具を使用して、各タイプの工具をヘッドに適切に固定します。DSM 9B-5P-Vには自動ウェーハフィードユニットが内蔵されており、機械とオペレータまたは外部ウェーハハンドラの間でウェーハを輸送するための安全なメカニズムを提供します。自動給紙機は、大量のウェハを取り扱う際の接触を最小限に抑え、汚染を低減します。このツールは、加工中に生成された粉砕または研磨破片を除去するためのパルスバックフラッシュ設計を備えた調整可能な空気真空アセットを提供します。このモデルには、研削およびラッピングスピンドルの温度を正確に調整するための統合スピンドルチルユニットも付属しています。SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨のための高度で効率的な装置です。高精度で高品質な部品で構成されており、自動ウェーハフィーダ、調整可能な真空システム、統合スピンドルチルユニットなど、プロセスをより簡単かつ安全にするいくつかのコンポーネントを備えています。