中古 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166339 を販売中
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SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、歩留まり、コスト効率、サイクルタイムを向上させるためのデュアル処理機能を備えた高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、ゲルマニウムセラミックスなどの基板を加工するために特別に設計されています。高速スピニングディスクを採用し、シリコン基板の表面を高精度に研削・ラップします。さらに、DSM 9B-5P-Vには、必要な表面仕上げに基板を磨くための惑星研磨ヘッドが含まれています。SPEEDFAM DSM 9B-5P-V機は、2つの独立したスピンドルの組み合わせを使用して、一度に最大2つのウエハを処理します。この構成により、サイクル時間が短縮され、複雑な基板を加工する際の歩留まりとコスト効率が向上します。各スピンドルは、独立に制御されたスピンドルドライブモーターと高耐摩耗性スピンドルディスクを使用して、効率的かつ正確な研削とラッピング操作を行います。惑星の磨く頭部は非常に制御可能で、調節可能な圧力頭部、多数の惑星段階および高められた磨く正確さのための浮遊端のエフェクターから成っています。DSM 9B-5P-Vは、プログラマブルコントローラとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、シンプルで直感的な操作が可能です。このツールは、最大8インチまでのウエハサイズに対応できる空気圧で作動するシャトルローダーと、精密基板配置用のヘビーデューティインデクサで設計されています。さらに、この資産には、効率的なサイクルタイムと安全性の向上のためのレシピストレージと回生ブレーキ機能が搭載されています。SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、加工作業中に微粒子を除去する超効率の集塵モデルを搭載しています。また、業界をリードするろ過システムを導入し、安全で汚染のない作業環境を維持しています。さらに、DSM 9B-5P-Vは、適用されるすべての安全指令および排出基準に準拠するように設計されており、包括的な安全機能が含まれています。結論として、SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、複雑な基板を加工しながら優れた精度と性能を提供するように特別に設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。このマシンには、デュアルスピンドル、プログラマブルコントローラとユーザーインターフェース、空気圧作動シャトルローダー、集塵ツール、および歩留まり、コスト効率、サイクルタイムを改善するためのさまざまな安全機能が組み込まれています。
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