中古 SPEEDFAM DSM 9B-5P-V #9166335 を販売中

ID: 9166335
ヴィンテージ: 2001
Double sided lapping machine 2001 vintage.
SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、半導体やその他のウェーハ製品向けの最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。次世代の半導体製造事業のために特別に設計されたこのシステムは、優れた表面仕上げ、歩留まりの向上、およびより高いスループットを提供します。DSM 9B-5P-Vは、真空チャンバーで行われる一連の研削、ラッピング、研磨操作で構成されています。研削ステップは、ダイヤモンド含浸またはカップホイールを使用して、ウェーハの両側を正確に制御された環境で研削し、均一な表面仕上げを保証します。その後、ラッピングプロセスは精密ジェネレータモジュールを使用して均一なラッピング圧力と遅い速度を提供し、目標の仕上げを達成します。最後に、研磨ステップは、ミラー仕上げを生成するために100から2700グレードまで研磨研磨研磨材の液体スラリーを利用しています。SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vには、操作性を高めるさまざまな機能が搭載されています。高速駆動と高度な制御技術により、精密制御により最大10,000RPMの高速処理が可能です。また、リモートのSCADA監視機能も備えており、現在の処理状況を定期的に報告できます。DSM 9B-5P-Vは、安全性、品質管理、メンテナンス機能の幅広い機能も備えています。その安全ツールは、アクセス、動き、振動を制御し、エネルギー消費を監視することによって、機械とそのオペレータを保護するのに役立ちます。品質管理には、ウェーハ検出用のビジョンおよびレーザーシステム、および予防品質測定としてのバーコードベースの部品追跡が含まれます。研削ヘッドやスラリーポンプなど、すべての可動部品を監視するセンサーでメンテナンスを簡素化します。この資産には、迅速なメンテナンスとサービスを可能にする集中潤滑モデルも付属しています。SPEEDFAM DSM 9B-5P-Vは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の業界をリードする機器です。その多数の機能により、優れた表面仕上げ機能、歩留まりの向上、および高いスループットを提供します。次世代半導体生産の推進に最適です。
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