中古 SPEEDFAM DSM 9B-5L #9243835 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-5Lは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された最先端のツールです。この装置は、最高の効率、品質、再現性を提供するように設計されています。研削、ラッピング、研磨を行うメインユニットと、ダイヤモンド研磨用のSUPER DRESSERモジュールで構成されています。DSM 9B-5Lのメインプラットフォームは、各操作ゾーンに分かれています。wi-fi研削は5。1 µmまで、研磨は0。1 µmまで、ラップは1.2µmまでです。プラットフォームは、ステンレスフレームとアルミ板のオーバーレイで構築されています。各ゾーンにはセラミックシールが装備されており、スループットを向上させ、ガス漏れを低減するための制御された粉砕圧力を提供します。ユニットは絶縁チャンバーに囲まれており、ノイズや周囲の影響を最小限に抑えます。研削・研磨作業の多くは自動化されています。3軸リニアサーボシステムを備えた反転空気圧研削/研磨アームは、調整可能な力で高速かつ高精度を保証します。SUPER DRESSERモジュールは、精度と高速ダイヤモンド研磨を提供する統合ユニットです。最新のダイヤモンド研磨技術を搭載し、最大15,000rpmの高速スピンコーティングを実現しています。また、ダイヤモンド研磨板は、ウェーハの損傷を最小限に抑え、優れた研磨結果を提供するように設計されています。また、低温動作機能を備えており、繊細な素材を安全かつ非破壊的に研磨することができます。SPEEDFAM DSM 9B-5Lには、時間、圧力、温度を手動で調整するためのタッチスクリーンコントロールパネルが装備されており、ユニット全体を正確に制御できます。また、最適なパフォーマンスを維持するのに役立つ操作、プロセス履歴、アラーム履歴の記録を備えた高度なデータ管理機能も備えています。このウェーハ研削、ラッピング、研磨機はまた、クリーンルームクラス10の基準を満たしており、CEやISOなどの性能および安全認証を提供しています。全体的に、DSM 9B-5Lは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適です。この高度なツールは、最高品質の結果を提供しながら、効率的なスループットで高精度を達成することができます。