中古 SPEEDFAM DSM 9B-5L #9235615 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-5Lは、半導体デバイスの製造および製造プロセスで使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、薄いウェーハから厚いウェーハ（4「-12」）までの研削、ラッピング、研磨用に設計されており、主制御ユニットと回転スピンドル、および正確なウェーハ配置用のフラットターンテーブルで構成されています。スピンドルは可変速度で回転するモーターによって駆動され、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御できます。ラッピングと研磨プロセスは、ミクロンサイズの研磨粒子、粒度または密度、圧力、時間と速度の制御された組み合わせを使用して行われます。ターンテーブルには可変速度制御が装備されているため、手動で速度を変更することができ、メインコントロールユニットを通してプログラム可能です。これにより、研削、ラッピング、研磨プロセスのバリエーションが可能になり、特定のウエハ構成のカスタマイズと正確な処理が可能になります。DSM 9B-5Lには、自動緊急停止などのさまざまな安全機能と、プロセス中の過度の圧力蓄積を防ぐための酸素圧力安全弁が装備されています。その他、粉砕機に帯電防止コーティングを使用すること、集塵ユニットを含めることなど、作業環境が安全で清潔であることを確認します。また、振動計や硬度計から厚さ計まで、幅広い試験・測定機器を搭載しています。これにより、研削、ラップ、研磨後のウエハの詳細な分析が可能になります。結論として、SPEEDFAM DSM 9B-5Lは信頼性が高く、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールであり、さまざまな厚さと構成のウェーハを処理するように設計されています。アセットに含まれる可変速度制御、安全機能、試験および測定機器などの精密な機能の範囲のため、正確な研削、ラッピング、研磨が可能です。