中古 SPEEDFAM DSM 9B-5DPG #9233198 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-5DPGは、さまざまな用途向けに設計された惑星ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この完全自動化システムは、直径6インチまでの半導体ウェーハの精密な表面研削、ラッピング、研磨用のシングルエンドスピンドルモータを備えています。このユニットは、特許取得済みの機械設計により、高精度で欠陥の少ないウェーハ処理を可能にします。Hi-Mach Exchangeテーブルに搭載された片持ち型シングルエンドスピンドルモータを搭載し、スムーズで正確な動作を実現しています。このユニークな2軸マシンのコンパクトな設計により、スペースを最小限に抑えながら大きなウェーハ容量を実現します。このツールには、最大400mmの移動範囲を持つ2軸リニアリフトアセンブリも内蔵されています。このアセットの直感的で使いやすいタッチスクリーンインターフェイスは、グリットフィードレート、スピンドル速度、サーボアクスモーション速度、開始位置、ドウェルタイム、工具圧力など、さまざまな高度なパラメータを簡単に制御できます。さらに、SPEEDFAM特許取得の光学位置補助装置（OPA）を搭載し、研削および研磨プロセスの精度を最適化します。包括的なパフォーマンスパッケージには、ダイアタッチステーション、ラッピングステーション、オプションの研磨テーブル、ダイアタッチ接着剤用の個別テーブルが含まれています。ダイアタッチステーションは手動操作をサポートし、ラッピングステーションは手動または自動化された形の研磨メディアとプロセスパラメータで動作できます。このモデルは、より効率的で生産的な研削および研磨プロセスのために、マニュアルから自動に「再工具」を使用することもできます。また、包括的な精度、性能、安全パッケージを備えており、高い信頼性と安全性を確保しています。このシステムには、X、 Y軸温度制御、各ダイアタッチおよびラッピングステーションのインテグラルワークライト、オペレータの安全性、完全な過負荷保護、および環境からの潜在的な汚染からの任意の部分の分離が含まれています。DSM 9B-5DPGは、特許取得済みの機械設計と直感的でユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、高精度で欠陥の少ないウェーハ処理を保証する完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。包括的な精度と安全性を備えたこのマシンは、さまざまな用途でスムーズで信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨を保証します。