中古 SPEEDFAM DSM 9B-10P-lll #9224691 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-10P-lllは、高度な精密表面仕上げと幅広い材料にわたるウェーハの特性評価用に設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、優れた表面粗さと精度を提供し、高いレベルの表面均一性、表面仕上げと微細構造を提供します。このユニットは、300mmシリコンおよび化合物半導体ウエハ以上の優れた研削、ラッピング、研磨能力を可能にする多数の技術を統合しています。機械自体は、研削、ラッピング、研磨スピンドル、2段シングルアームローダー、3軸ガルバノメーター光学スキャンツール、高度な高周波インバータコントローラ、およびソフトウェアの配列で構成されています。スピンドルは2つの研削ホイールと500-3000 RPMの調整可能な速度範囲を持つ研磨ホイールで構成されており、多くの種類のウェーハの研削とラッピングを可能にし、正確な表面仕上げを実現します。ローダーは2つのウェーハを握ることができます；1つは処理されるので、もう1つはローディングのために準備されます。光学式スキャンアセットトラックは、ウェーハ形状または表面欠陥を補正し、一貫した高精度な研削、ラッピング、研磨を保証します。高度な高周波インバータは、スピンドルのパワーを制御して表面仕上げの品質と均一性を確保し、ストレスと振動を最小限に抑えます。DSM 9B-10P-lllモデルのソフトウェアコンポーネントは、直感的なユーザーインターフェイスを提供し、機器の日常的な操作を簡素化します。リアルタイム検査および分析機能、自動インプロセスおよびポストプロセス測定、高度なプロセス制御アルゴリズム、3Dマッピング機能、故障診断システムを備えています。さらに、このシステムは、自動ロードおよびアンロードモジュール、プロセスオートメーションシステム、およびカスタマイズされたソフトウェアアプリケーションと統合できます。全体として、SPEEDFAM DSM 9B-10P-lllは、ウェーハ表面仕上げ技術を次のレベルに引き上げる強力なツールに設定されています。その高度な機能、汎用性、直感的なユーザーインターフェースは、研究と産業の両方のニーズに非常に適しています。