中古 SPEEDFAM DSM 6B-6L #149749 を販売中

SPEEDFAM DSM 6B-6Lは、半導体およびMEMS業界で使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、3つの独立したプロセススピンドルを保持するCNCフレームで構成されており、それぞれに個別のドライブユニットがあり、異なるステージで最大3つのプロセスを同時に実行できます。また、微細研磨ジェットラッピング（MAJL）ノズルを複数備えており、ウェーハ表面を正確に砂で形作るために使用されます。また、ラッピングプロセス中にウェーハをスキャンするための2つのレーザースキャナーを備えており、ウェーハの表面プロファイルを正確に制御できます。このユニットは、非常に高精度で非常に低い粗さでウェーハを製造することができ、150mmから300mmまでのウェーハ径に対応できます。このマシンは、高性能ベクトル制御サーボモータとドライバによって駆動され、プロセスの高い精度と再現性を提供します。また、ウォームアップ時間が短いため、サイクルタイムが低く、環境への影響が少ないため、高効率です。このツールには、ウェハストックハンドリングアセットが自動化されており、ウェハーのロード、アンロード、転送を最小限の労力で迅速かつ安全に行うことができます。このモデルには、圧力センサや安全インターロックスイッチなど、いくつかの安全機能があり、作業者の安全を確保し、作業エリアでの事故のリスクを低減するのに役立ちます。本装置は、高精度かつ再現性に優れた設計となっており、大型ロットでも高精度のウェーハを製造することが可能です。反復可能なウエハ研削、ラッピング、研磨プロセスに適しており、0。1ミクロン以下の非常に微細な許容誤差までウェハを製造することができます。システムは非常に堅牢で、優れたプロセス制御と信頼性の高い動作を提供します。また、ユーザーフレンドリーで、ユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェイスにより、ユーザーはプロセスを素早く簡単にセットアップして監視することができます。DSM 6B-6Lは全体的に優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットであり、優れた性能、高精度、および信頼性の高い動作を提供します。高精度で優れた表面品質のウェハ製造に最適で、セットアップとメンテナンスが容易です。