中古 SPEEDFAM DSM 22B-6PV-4MH #9293451 を販売中

ID: 9293451
ヴィンテージ: 2007
Double sided polishing machine 2007 vintage.
SPEEDFAM DSM 22B-6PV-4MHは、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高速スピンドルとサーボモータを搭載し、各種産業向けに精密なモーションコントロールと仕上げウエハの最大効率を実現しています。パワフルなスピンドルは、最大6,000rpmを発生させることができ、ハードでデリケートなウェーハを研削して仕上げるために、高い加速、トルク、速度を提供することができます。このユニットは、電子ビーム溶接セントラルピース、優れたエアベアリング、およびフレームを提供し、スピンドルを保持する2つのテンションアームなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。機械内部の温度は高度の温度調節器によって維持され、制御され、切断および粉砕操作のためのより一貫した環境を作成するのを助けます。このツールには、研削、ラッピング、研磨プロセスの間でウェーハを移動できるコンベアアセットも含まれています。DSM 22B-6PV-4MHは、ウェーハ表面の欠陥を低減するために設計されたダイヤモンド研削ホイールと研磨ラッピングプレートを備えています。また、デュアルヘッドポリッシャを備えており、ウェーハ表面全体の一貫性を確保するのに役立ちます。また、コンベア搭載のリミッタープレートを搭載しており、複数の部品を順番に作業できます。これにより、手動での切り替えが不要になります。最高品質を実現するために、SPEEDFAM DSM 22B-6PV-4MHにはインプロセス検査ツールが装備されています。この機器にはマイクロバランシングソフトウェアがあり、最高の矯正および予防メンテナンスプロトコルが確立されていることを保証します。仕上げの精度をさらに高めるために、生産情報、作業価値、サイクルタイムデータを表示するリアルタイムモニタリングユニットを備えています。要するに、DSM 22B-6PV-4MHは、ウェーハの製造において高精度、高速、効率を提供する最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。その高度な機能とコンポーネントは、複数の部品とプロセスにわたって一貫したレベルの仕上げと品質管理を可能にします。
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