中古 SPEEDFAM DSM 22B-24B-5L #9366385 を販売中

SPEEDFAM DSM 22B-24B-5Lは、SPEEDFAMのウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。集積回路部品など多くの用途で使用される半導体ウェーハに最適な表面仕上げを提供するように設計されています。このシステムの主な特徴は、表面仕上げのための3つのユニークなマシンです。このフレームワークは、ロータリーポリッシャー、ラッピングマシン、および研削盤で構成されており、それぞれが必要な結果を提供するために使用することができます。研磨機は、ダイヤモンド表面研磨機をロータリーテーブルに取り付けています。ラッピングマシンは、調節可能な高さと3つの同時ラッピングポイントを備えており、滑らかで一貫した仕上がりを提供します。研削盤は研削砥石付きの回転テーブルを持ち、ダイヤモンド研削盤を使用して望ましい表面仕上げを実現しています。コントロールパネルは、研削およびラッピング機の速度と切削力を調整するように設計されています。また、精密メーター制御と、目的の仕上げを確実にするためのパラメータを設定する機能を提供します。このユニットには、クローズドループ再循環機からのウェットプロセスも含まれています。これにより、高品質で均一な仕上がりを確保し、光学系を汚染から保護します。DSM 22B-24B-5Lも高度に自動化されています。グラフィカルディスプレイと直感的なユーザーインターフェイス、およびオペレータが迅速な切り替えのために頻繁に実行される操作のために以前の設定をリコールできるメモリが含まれています。SPEEDFAM DSM 22B-24B-5Lは、半導体ウェーハ加工に最適化され、3〜5ミクロンの平面精度で15ミクロンの均一な最高品質の仕上がりを提供することができます。高い精度と再現性を必要とする高精度な作業に最適です。このツールは、低メンテナンス操作を提供するように設計されており、1年間の保証付きです。ダウンタイムを最小限に抑え、半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨を迅速かつ正確に行うことができます。