中古 SPEEDFAM DSM 16B-5P-V #9148494 を販売中

ID: 9148494
ヴィンテージ: 2003
Double side polisher Process: CMP Capacity(4" Wafer): 4” 40, 6” 20 pcs Carrier: M3 x Z142 x 5Piece Upper platen: Φ1154 x Φ364 Lower platen: Φ1154 x Φ364 Plate thickness: Upper 50mm, lower 50mm Rotation speed Lower plate 10~60min-¹ Ring gear 5~30min-¹ Sun gear 5~30min-¹ Gease pump: Lube GAS-16-40 Speed controller: SMC AS205IF-06N Air cylinder: SMC CM2C25-25 Check V/V: SMC AK-4000-02 Pressure switch: CKD P4000-8-IS17 Control panel: 067V103-99 Power unit: A1S61PN Sequencer CPU: Q2A2CPU Inverter (2) FR-A520-15K FR-A520-1.2K Speed meter: MITSUBISHI A500 Noise filter: TDIC ZMB2203-11 Load cell: TEAC TC-10F Air Supply: 0.55~0.6Mpa 60NL/min-¹ ¢3/8Tube Water Supply: 0.15Mpa 20L/min¢12 Tube Drain: Φ89 200V, 3P 50/60Hz 2003 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5P-Vウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、さまざまな基板およびウェーハを効率的に研削、ラップ、研磨するために設計された最先端のシステムです。可変速度4軸CNCプラットフォームを使用して、正確で正確な研削パラメータを提供し、高品質な仕上げのウェーハを製造します。DSM 16B-5P-Vは、さまざまなウェーハを正確かつ正確に研削、ラップ、研磨するように設計された16インチプラットフォームです。5個の独立した制御可能なプラテン、高圧ラッピングキャリッジ、高圧チャンバー、および統合されたエアベアリングスピンドルを備えているため、最大5個のウェーハを同時に研削、ラップ、研磨することができます。このユニットは、最大500 umの超微細ダイヤモンド研磨粒子を最大400 rpmの速度で研削、ラッピング、研磨することができます。機械はまた細く、粗い終わりのためのさまざまな他の研摩の基質を受け入れることができます。工具の可変スピードモーターは、研削、ラッピング、研磨プロセスが一貫して正確かつ正確であることを保証します。SPEEDFAM DSM 16B-5P-Vは、温度、湿度、振動などのさまざまな条件で動作するように設計されており、最も要求の厳しいアプリケーションに合わせて校正することができます。また、マルチポイント安全インターロック資産や自動生産モードなど、安全のためのいくつかの機械システムから利益を得て、時間の経過とともに最高の精度と一貫した高品質の結果を保証します。DSM 16B-5P-Vはまた、最先端のコンピュータ診断技術を組み込み、モデルパフォーマンスの詳細な分析を提供します。診断装置は、発生したエラーや障害の原因を特定することができ、オペレータにシステムメンテナンスの問題を警告することができます。これは、高価な修理やダウンタイムを防ぐのに役立ちながら、製品がピーク効率で実行されていることを確認するのに役立ちます。このユニットはまた、オペレータにリアルタイムのフィードバックを提供し、ラッピングおよび研磨作業の進行状況を監視することができます。要約すると、SPEEDFAM DSM 16B-5P-Vは、高度で精密な研削、ラッピング、研磨機です。従来の工法や機械では実現できなかった微細な仕上がりで、多種多様な基板やウェーハの加工が可能です。これにより、完成品は幅広い用途において最高水準の製品であることが保証されます。
まだレビューはありません